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J-GLOBAL ID：201802232026878996   整理番号：18A1341875

薄型AEセンサとオートエンコーダの再構成誤差を用いた 回転式真空ポンプの異常検知

Anomaly Detection of Rotary Vacuum Pump Using Thin AE Sensor and Reconstruction Error of Autoencoder

著者 (5件)： 内田雅人 (国立研究開発法人産業技術総合研究所製造技術研究部門) ,  内田雅人 (九州工業大学大学院生命体工学研究科) ,  石田秀一 (国立研究開発法人産業技術総合研究所製造技術研究部門) ,  田原竜夫 (国立研究開発法人産業技術総合研究所製造技術研究部門) ,  宮本弘之 (九州工業大学大学院生命体工学研究科)
資料名： 計測自動制御学会論文集  (Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers)
巻： 54  号： 7  ページ： 599-605(J-STAGE)  発行年： 2018年 
JST資料番号： S0104A  ISSN： 0453-4654  CODEN： KJSRA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 真空ポンプは半導体製造装置で常に使用されている。真空ポンプの異常は,機器の停止などのトラブルにつながる。したがって,真空ポンプの異常検知は非常に重要である。薄型AE(アコースティックエミッション)センサと機械学習を用いた真空ポンプの状態監視を検討した。しかし,異常データは生産ラインでは常に利用可能なわけではない。異常検知器は通常のデータのみから学習する必要がある。近年,オートエンコーダを使用した異常検知がある。オートエンコーダでは,通常のデータが再構成され,異常データは再構成されない。結果として,異常検知は再構成誤差を使用することができる。本論文では,薄型AEセンサとオートエンコーダの再構成誤差による回転式真空ポンプの異常検知手法を提案した。真空ポンプの排気異常を検知することによって提案手法の性能を評価した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： センサ ,  アルゴリズム ,  *回転式真空ポンプ ,  誤差 ,  *検出 ,  機械学習 ,  監視 ,  再構成
準シソーラス用語： AEセンサ ,  オートエンコーダ ,  *異常検知 ,  状態監視

著者キーワード (4件)： 真空ポンプ ,  異常検出 ,  薄いAEセンサ ,  自動エンコーダ

分類 (2件)： 真空ポンプ  (QD04030I) ,  設備管理  (KB02020X)

引用文献 (10件)：

• 1) 日本非破壊検査協会:コースティック·エミッションによる機械診断,日本非破壊検査協会(2015)
• 2) 豊田利夫:設備診断技術(その2),安全工学,36-5, 321/328 (1997)
• 3) 久代,松田,高原:動作音を用いた真空ポンプの故障診断手法,電気設備学会誌,34-3, 209/214 (2014)
• 4) 佐藤弌也:AE計測法を用いた回転機の異常診断技術,電気学会論文誌C,電子・情報・システム部門誌,109-3, 145/152 (1989)
• 5) I. Inasaki, S. Aida and S. Fukuoka: Monitoring System for Cutting Tool Failure Using an Acoustic Emission Sensor: Vibration, Control Engineering, Engineering for Industry, JSME International Journal, 30-261, 523/528 (1987)

タイトルに関連する用語 (7件)： 薄型 ,  AEセンサ ,  オートエンコーダ ,  再構成 ,  誤差 ,  回転式真空ポンプ ,  異常検知