Petrov Yu.V. について
Saint-Petersburg State University, Faculty of Physics, Ulyanovskaya 1, Saint-Petersburg, Russia について
Anikeva A.E. について
Saint-Petersburg State University, Faculty of Physics, Ulyanovskaya 1, Saint-Petersburg, Russia について
Vyvenko O.F. について
Saint-Petersburg State University, Faculty of Physics, Ulyanovskaya 1, Saint-Petersburg, Russia について
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms について
絶縁体 について
窒化 について
電子放出 について
絶縁膜 について
薄膜 について
エネルギー損失 について
二次電子放出 について
帯電 について
ヘリウム について
窒化ケイ素 について
ケイ素 について
電子エネルギー分布 について
シリコンウエハ について
二次電子 について
ヘリウムイオン について
Auger電子放出,二次電子放出 について
帯電 について
絶縁性 について
窒化ケイ素膜 について
ヘリウム について
イオンビーム について
誘起 について
電子放出 について