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J-GLOBAL ID：201802232871075530   整理番号：18A0616754

超高速走査型電子顕微鏡により研究した酸化アルミニウム薄膜の電荷動力学【Powered by NICT】

Charge dynamics in aluminum oxide thin film studied by ultrafast scanning electron microscopy

著者 (14件)： Zani Maurizio (Dipartimento di Fisica, Politecnico di Milano, Piazza Leonardo da Vinci 32, Milano, Italy) ,  Sala Vittorio (Dipartimento di Fisica, Politecnico di Milano, Piazza Leonardo da Vinci 32, Milano, Italy) ,  Sala Vittorio (CNST@PoliMi, Istituto Italiano di Tecnologia (IIT), Via Giovanni Pascoli 70/3, Milano, Italy) ,  Irde Gabriele (Dipartimento di Fisica, Politecnico di Milano, Piazza Leonardo da Vinci 32, Milano, Italy) ,  Irde Gabriele (CNST@PoliMi, Istituto Italiano di Tecnologia (IIT), Via Giovanni Pascoli 70/3, Milano, Italy) ,  Pietralunga Silvia Maria (CNST@PoliMi, Istituto Italiano di Tecnologia (IIT), Via Giovanni Pascoli 70/3, Milano, Italy) ,  Pietralunga Silvia Maria (Istituto di Fotonica e Nanotecnologie (IFN), CNR, Piazza Leonardo da Vinci 32, Milano, Italy) ,  Manzoni Cristian (Istituto di Fotonica e Nanotecnologie (IFN), CNR, Piazza Leonardo da Vinci 32, Milano, Italy) ,  Cerullo Giulio (Dipartimento di Fisica, Politecnico di Milano, Piazza Leonardo da Vinci 32, Milano, Italy) ,  Cerullo Giulio (Istituto di Fotonica e Nanotecnologie (IFN), CNR, Piazza Leonardo da Vinci 32, Milano, Italy) ,  Lanzani Guglielmo (Dipartimento di Fisica, Politecnico di Milano, Piazza Leonardo da Vinci 32, Milano, Italy) ,  Lanzani Guglielmo (CNST@PoliMi, Istituto Italiano di Tecnologia (IIT), Via Giovanni Pascoli 70/3, Milano, Italy) ,  Tagliaferri Alberto (Dipartimento di Fisica, Politecnico di Milano, Piazza Leonardo da Vinci 32, Milano, Italy) ,  Tagliaferri Alberto (CNST@PoliMi, Istituto Italiano di Tecnologia (IIT), Via Giovanni Pascoli 70/3, Milano, Italy)
資料名： Ultramicroscopy  (Ultramicroscopy)
巻： 187  ページ： 93-97  発行年： 2018年 
JST資料番号： W0972A  ISSN： 0304-3991  CODEN： ULTRD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 絶縁体中の欠陥の励起動力学は,エレクトロニクスおよびフォトニクスへの量子計算からのいろいろな分野における中心的役割を果たす。超高速走査電子顕微鏡(USEM)によるシリコン上の酸化アルミニウムの100nm膜における電子動力学の時間分解測定を報告した。著者らのポンプ-プローブ構成において,UVフェムト秒レーザ励起パルスと遅延ピコ秒電子プローブパルスが試料に重複しており,検出器と二次電子(SE)放出を誘発する空間的にした。ポンプ-プローブ遅延と時間分解能の零はシリコン上のレーザ誘起SEコントラストの動力学を測定することにより決定した。成分十ピコ秒の数ナノ秒~高速動力学,UV色中心進化の典型的な時間スケール内で適合することを観察した。SE検出の表面感度は,現在のナノデバイスの表面と界面における電荷動力学へのポンプ-プローブ研究の適用の可能性をUSEMに与える。本研究では,大きなギャップ絶縁体表面上でこの手法を実証した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： プローブ ,  絶縁体 ,  フェムト秒レーザ ,  界面 ,  励起 ,  時間分解能 ,  コントラスト ,  ケイ素 ,  ピコ秒 ,  *薄膜 ,  *酸化アルミニウム ,  *走査電子顕微鏡 ,  *高速度 ,  パルス
準シソーラス用語： *超高速 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： USEM ,  超高速走査電子顕微鏡観察 ,  酸化アルミニウム ,  二次電子動力学 ,  色中心電荷動力学 ,  ロックイン検出

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  13-15族化合物を含む半導体-半導体接合  (BM03082Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： 走査型電子顕微鏡 ,  研究 ,  酸化アルミニウム ,  薄膜 ,  電荷動力学