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J-GLOBAL ID：201802233472292836   整理番号：18A1493609

対面形吸着層を用いた半導体式薄膜ガスセンサの研究

Semiconductor Thin-film Gas and Smell Sensors using a Face-to-face Type Adsorption and Desorption Layer

著者 (4件)： 笹川大輔 (東京電機大学 工学研究科) ,  木下亮輔 (東京電機大学 工学研究科) ,  山口富治 (東京電機大学 工学研究科) ,  原和裕 (東京電機大学 工学研究科)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 138  号： 8  ページ： 376-381(J-STAGE)  発行年： 2018年 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体式ガスセンサは広範囲のガスに感応するが,ガス選択性が悪い欠点がある。ガス選択性を改善するために,回転機構にガス吸着/脱着部を搭載した新しい薄膜ガスセンサを開発した。貴金属触媒をドープした活性炭を吸着剤として使用する。このセンサは,活性炭をセンシング部の近くの位置に回転させ,その上に実装したヒータにより加熱した後で,イソ吉草酸ガス,エタノールガスおよび水素ガスのそれぞれに対して異なる応答を示す。それ故,このセンサは,吸着/脱着応答とともに感度を分析することでガスの種類を識別できる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  活性炭 ,  遷移金属触媒 ,  吸着 ,  脱着 ,  *有害ガス
準シソーラス用語： 貴金属触媒 ,  *薄膜センサ ,  有毒ガス

著者キーワード (8件)： 薄膜 ,  吸着・脱 ,  活性 ,  回転 ,  薄膜センサ ,  吸着と脱着層 ,  活性炭 ,  回転機構

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

引用文献 (14件)：

• (1) F. Huang, W. Yang, F. He, and S. Liu : “Controlled synthesis of flower-like In₂O₃ microrods and their highly improved selectivity toward ethanol”, Sensors and Actuators B, Vol. 235, pp. 86-93 (2016)
• (2) H. Imai and K. Hara : “Improvement of the gas selectivity of semiconductor thin-film gas sensors”, IEEJ Trans. SM, Vol. 124, No. 11, pp. 421-427 (2004) (in Japanese)
• 今井秀和・原 和裕:「半導体薄膜ガスセンサのガス選択性改善法」, 電学論E, Vol. 124, No. 11, pp. 421-427 (2004)
• (3) Y. J. Kwon, H. G. Na, S. Y. Kang, S.-W. Choi, S. S. Kim, and H. W. Kim : “Selective detection of low concentration toluene gas using Pt-decorated carbon nanotubes sensors”, Sensors and Actuators B, Vol. 227, pp. 157-168 (2016)
• (4) K. Hara : “Semiconductor gas sensors and catalytic combustion type gas sensors”, IEEJ Trans. SM, Vol. 135, No. 8, pp. 270-275 (2015) (in Japanese)

タイトルに関連する用語 (5件)： 対面 ,  吸着層 ,  薄膜 ,  ガスセンサ ,  研究