文献

J-GLOBAL ID：201802233953630970   整理番号：18A0633758

HVPE法で結晶成長したβ-Ga₂O₃ホモエピ膜の電気的評価

著者 (1件)： 中野由崇 (中部大 工)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 65th  ページ： ROMBUNNO.19p-P11-20  発行年： 2018年03月05日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *酸化ガリウム ,  *ホモエピタクシー ,  *電気特性 ,  半導体材料 ,  化合物半導体 ,  半導体薄膜 ,  スペクトロスコピー
準シソーラス用語： HVPE ,  光容量過渡分光法

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： HVPE ,  結晶成長 ,  β-Ga2O3 ,  ホモ ,  エピ膜 ,  評価