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J-GLOBAL ID：201802234474469712   整理番号：18A1285946

空圧式除振装置の低固有値化を図るための制御系の一提案

A proposal of control system for natural frequency reducing method of anti-vibration apparatus

著者 (2件)： 高木山河 (東京農工大 大学院) ,  涌井伸二 (東京農工大 大学院工学研究院)
資料名： 日本機械学会論文集(Web)  (Bulletin of the JSME (Web))
巻： 84  号： 862  ページ： ROMBUNNO.18-00043(J-STAGE)  発行年： 2018年 
JST資料番号： U0182B  ISSN： 2187-9761  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 精密位置決め分野では,床からの外乱振動を抑制するために除振装置が搭載されている。同装置は,精密機器の高精度化にともなって性能向上が要求されている。研究動向として,固有振動数を低下させて除振する帯域を拡大する低固有値化がある。本稿では,空気ばねが持つばね剛性を削除して低固有値化する。しかし,ばね剛性の削除は不安定化を招く。そこで,動作帯域に限定されたばね剛性の削除によって安定な低固有値化を実装する。このとき,ばね剛性の完全な削除によって,いままで着目されていなかったサーボ剛性が固有振動数の決定に支配的となった。最後に,サーボ剛性の端的な設計の指標を与えて任意の固有振動数に操作した。(著者抄録)

シソーラス用語： *防振装置 ,  位置決め ,  擾乱 ,  精密機械 ,  *固有振動数 ,  周波数帯 ,  空気ばね ,  剛性 ,  固有値 ,  精密位置決め ,  機械的性質
準シソーラス用語： *外部外乱 ,  周波数帯域 ,  除振装置

分類 (3件)： 振動伝搬  (BB02040K) ,  振動論  (BB02020O) ,  精密機械一般  (QF01000M)

引用文献 (10件)：

• Canon Inc. (Wakui, S., Mayama, T. and Kato, H.), Active vibration eliminator, Japanese patent disclosure H10-256141 (1998).
• Fujikura rubber Ltd. (Kainuma, M., Aoki, J., Tamaoki, K., Fujita, T., Chinda, H. and Hayashi, A.), Flexible airtight member and vibration resistant device using the same, Japanese patent disclosure 2003-194219 (2003).
• Fujiwara, M., Akatsu, K. and Wakui, S., Manipulation of mechanical impedance for an anti-vibration apparatus using velocity sensor, Proceedings of the Japan Industry Applications Society Conference (2004), pp.215-218 (in Japanese).
• Meng, L. S. and Sun, J. G., Theoretical design and characteristics analysis of a quasi-zero stiffness isolator using a disk spring as negative stiffness element, Shock and Vibration (2015).
• Nikon Corporation (Hashemi, F. A., Watson, D. C. and Margeson, C.),System for isolating an exposure apparatus, Japanese patent disclosure 2012-502448 (2012).

タイトルに関連する用語 (5件)： 空圧 ,  除振装置 ,  固有値 ,  制御系 ,  提案