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J-GLOBAL ID：201802235373903790   整理番号：18A1138528

転位関連ルミネセンスを持つ電子照射シリコン発光ダイオードのルミネセンスおよび構造特性【JST・京大機械翻訳】

Luminescent and Structural Properties of Electron-Irradiated Silicon Light-Emitting Diodes with Dislocation-Related Luminescence

著者 (12件)： Sobolev N.A. (Ioffe Institute, St. Petersburg 194021, Russia) ,  Kalyadin A.E. (Ioffe Institute, St. Petersburg 194021, Russia) ,  Shek E.I. (Ioffe Institute, St. Petersburg 194021, Russia) ,  Shtel makh K.F. (Ioffe Institute, St. Petersburg 194021, Russia) ,  Shtel makh K.F. (Peter the Great Saint-Petersburg Polytechnic University, St. Petersburg, 195251, Russia) ,  Gutakovskii A.K. (Rzhanov Institute of Semiconductor Physics, Novosibirsk 630090, Russia) ,  Vdovin V.I. (Rzhanov Institute of Semiconductor Physics, Novosibirsk 630090, Russia) ,  Mikhaylov A.N. (Lobachevski State University, Nizhni Novgorod 603950, Russia) ,  Tetel’baum D.I. (Lobachevski State University, Nizhni Novgorod 603950, Russia) ,  Li D. (Zhejiang University, State Key Laboratory of Silicon Materials and Department of Materials Science and Engineering, Hangzhou 310027, People’s Republic of China) ,  Yang D. (Zhejiang University, State Key Laboratory of Silicon Materials and Department of Materials Science and Engineering, Hangzhou 310027, People’s Republic of China) ,  Fedina L.I. (Rzhanov Institute of Semiconductor Physics, Novosibirsk 630090, Russia)
資料名： Materials Today: Proceedings  (Materials Today: Proceedings)
巻： 5  号： 6 P3  ページ： 14772-14777  発行年： 2018年 
JST資料番号： W3531A  ISSN： 2214-7853  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 発光ダイオード(LED)からのエレクトロルミネセンス(EL)を,1000~1650nmの範囲の波長,10A/cm2までの電流密度,および64Kの温度で研究した。p-Cz-Siウエハを低エネルギー電子(急速熱アニーリングに基づく技術の変種)で照射し,1100°Cで塩素含有雰囲気中でアニールした。p-n接合とOhm接触を得るために,リンとホウ素をドープした多結晶シリコン層を,ウエハの反対側に気相エピタクシーにより蒸着した。研究中の試料における転位構造は,60°転位と完全で欠陥のある双極子から成る。解析は,電流によるELスペクトルの変換が6つのGauss線によって正確に記述されることを示した。ピーク波長は電流に依存せず,1235,1309,1369,1414,1472,1515nmに等しい。EL線の強度の電流依存性を決定した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： スペクトル ,  *発光ダイオード ,  電流密度 ,  塩素 ,  ドーピング ,  リン ,  ホウ素 ,  エレクトロルミネセンス ,  *ルミネセンス ,  *電子照射 ,  PN接合 ,  電流 ,  *ケイ素 ,  波長 ,  双極子

著者キーワード (4件)： シリコン発光ダイオード ,  転位関連ルミネセンス ,  拡張および点欠陥 ,  電子顕微鏡

分類 (2件)： 半導体のルミネセンス  (BM08092S) ,  発光素子  (NC03082G)

タイトルに関連する用語 (6件)： 転位 ,  ルミネセンス ,  電子照射 ,  シリコン ,  発光ダイオード ,  構造特性