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J-GLOBAL ID：201802238453532821   整理番号：18A0824713

小型加速のための容量MEMSセンサの解析【JST・京大機械翻訳】

Analysis of capacitive MEMS sensor for small accelerations

著者 (2件)： Chamraz Stefan (Slovak University of Technology in Bratislava, UAMT FEI STU, Ilkovicova 3, Bratislava, Slovakia) ,  Balogh Richard (Slovak University of Technology in Bratislava, UAMT FEI STU, Ilkovicova 3, Bratislava, Slovakia)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： K&I  ページ： 1-5  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,ミニチュア容量フィードバックセンサを用いた小型加速度の測定のための理論的基礎を取り扱った。センサ自体は不安定なシステムである。本論文の目的は,小型加速度の測定を可能にするための安定化とフィードバック制御システムの両方を設計することである。加速度の適切な電気量,フィードバック安定器および補償器への変換を提案した。制御装置に対するその関係による精度の解析も解析した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： フィードバック制御 ,  制御装置 ,  補償装置 ,  加速度 ,  *センサ ,  安定器 ,  フィードバック
準シソーラス用語： *MEMSセンサ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  生体計測  (EL03020C)

タイトルに関連する用語 (3件)： 加速 ,  MEMSセンサ ,  解析