文献

J-GLOBAL ID：201802239011737767   整理番号：18A0283717

電子光学切片によるナノメートルスケールの深さ分解能の3D元素マッピング【Powered by NICT】

3D elemental mapping with nanometer scale depth resolution via electron optical sectioning

著者 (12件)： Pennycook Timothy J. (EPSRC SuperSTEM Facility, Daresbury Laboratory, Warrington WA4 4AD, UK) ,  Pennycook Timothy J. (Department of Materials, University of Oxford, Parks Road, Oxford OX1 3PH, UK) ,  Yang Hao (Department of Materials, University of Oxford, Parks Road, Oxford OX1 3PH, UK) ,  Jones Lewys (Department of Materials, University of Oxford, Parks Road, Oxford OX1 3PH, UK) ,  Cabero Mariona (Grupo de Fisica de Materiales Complejos, Universidad Complutense, 28040 Madrid, Spain) ,  Rivera-Calzada Alberto (Grupo de Fisica de Materiales Complejos, Universidad Complutense, 28040 Madrid, Spain) ,  Leon Carlos (Grupo de Fisica de Materiales Complejos, Universidad Complutense, 28040 Madrid, Spain) ,  Varela Maria (Grupo de Fisica de Materiales Complejos, Universidad Complutense, 28040 Madrid, Spain) ,  Varela Maria (Materials Science & Technology Division, Oak Ridge National Laboratory, Oak Ridge, TN 37831, USA) ,  Santamaria Jacobo (Grupo de Fisica de Materiales Complejos, Universidad Complutense, 28040 Madrid, Spain) ,  Nellist Peter D. (EPSRC SuperSTEM Facility, Daresbury Laboratory, Warrington WA4 4AD, UK) ,  Nellist Peter D. (Department of Materials, University of Oxford, Parks Road, Oxford OX1 3PH, UK)
資料名： Ultramicroscopy  (Ultramicroscopy)
巻： 174  ページ： 27-34  発行年： 2017年 
JST資料番号： W0972A  ISSN： 0304-3991  CODEN： ULTRD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 走査型透過電子顕微鏡における電子エネルギー損失分光法は長い元素マッピングを実行するために使用されてきたが,深さ感度を示していない。光セクショニングを用いた深さ分解能への鍵は,十分に高い横方向空間周波数の移動である。原子分解能をもつスペクトルイメージングを行うことにより,ナノメートルスケールの深さ分解能を達成し,酸化物ヘテロ構造を節分光学的に光学的にできた。そのような3D元素マッピングは,構造と組成の原子スケール変化に敏感であり,Zコントラストイメージング単独よりも解釈可能である。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 電子エネルギー損失分光法 ,  空間周波数 ,  酸化物 ,  *三次元 ,  *電子光学
準シソーラス用語： 原子スケール ,  ヘテロ構造 ,  原子分解能 ,  *元素マッピング ,  *深さ分解能 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： STEM ,  EELS ,  光セクショニング

分類 (2件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (5件)： 電子光学 ,  ナノメートルスケール ,  深さ分解能 ,  3D ,  元素マッピング