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J-GLOBAL ID：201802239052451024   整理番号：18A0118218

DLCコーティングの現状と最新技術動向 産総研・公設試におけるDLC膜の摩擦摩耗評価に関する検討

著者 (1件)： 川口雅弘 (東京都産業技術研究セ)
資料名： Mechanical Surface Tech  (Mechanical Surface Tech)
号： 41  ページ： 33-35  発行年： 2017年12月25日 
JST資料番号： L8462A  ISSN： 2758-1608  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・DLCコーティングの現状と最新技術動向。
・DLC膜の分類,DLC膜の国際規格ISO18535:2016により摩擦摩耗特性の評価法が確立。
・産総研および全国の公設試では,全9機関および2社の民間協力を得てラウンドロビン試験を実施。
・基板は,軸受鋼を用い,重畳型プラズマイオン注入成膜法でDLC膜を作製,各機関で摩擦摩耗試験を行い,比較検討。
・平均摩擦係数約0.085,平均摩耗率6.9E-17m²/N,各測定の「ばらつき」をZスコアによる統計学的検定実施,統計学的許容範囲内。

シソーラス用語： *DLC膜 ,  基板 ,  *軸受鋼 ,  *イオン注入 ,  プラズマ源 ,  *摩擦試験 ,  *摩耗試験 ,  *共同比較試験 ,  摩擦 ,  摩耗 ,  ISO規格 ,  *摩擦係数 ,  *摩耗率 ,  *分散【variance】 ,  指数 ,  統計的方法
準シソーラス用語： Zスコア ,  *ばらつき ,  プラズマイオン注入 ,  ラウンドロビン試験

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

引用文献 (12件)：

• Aisenberg S,Chabot R:J.Appl.Phys.,42,2953(1971).
• ドライコーティング受託加工市場に関する調査結果、 矢野経済研究所、 2012.
• Ferrari A C,Robertson J:Phys.Rev.B:61,20,14095(2000).
• ISO20523:2017.
• 大竹尚登: DLCの国際標準化-カーボン膜の分類規格を中心として-、 DLC工業会設立記念講演会要旨集、 2017年11月.

タイトルに関連する用語 (9件)： DLC ,  コーティング ,  現状 ,  技術動向 ,  産総研 ,  DLC膜 ,  摩擦 ,  摩耗 ,  評価