文献

J-GLOBAL ID：201802239113170097   整理番号：18A1904558

高性能VCSELにおける光学モード工学のための不純物誘起無秩序化を制御するウエハスケール法【JST・京大機械翻訳】

Wafer-Scale Method of Controlling Impurity-Induced Disordering for Optical Mode Engineering in High-Performance VCSELs

著者 (4件)： Su Patrick (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Illinois at Urbana-Champaign, Urbana, IL, USA) ,  Hsiao Fu-Chen (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Illinois at Urbana-Champaign, Urbana, IL, USA) ,  O’Brien Thomas (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Illinois at Urbana-Champaign, Urbana, IL, USA) ,  Dallesasse John M. (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Illinois at Urbana-Champaign, Urbana, IL, USA)
資料名： IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing  (IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing)
巻： 31  号： 4  ページ： 447-453  発行年： 2018年 
JST資料番号： T0521A  ISSN： 0894-6507  CODEN： ITSMED  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 不純物誘起無秩序化(IID)は,特定の光学モードにおいてより高い出力パワーを必要とする応用のための垂直共振器面発光レーザ(VCSEL)の性能を増強するウエハスケール法を提供する。IIDは,酸化物閉じ込めVCSELにおいて,より高い光パワー,より速い変調,および単一モード動作を達成することを実証した。IID開口の形成を通して,ミラー反射率の空間制御を選択的に用いて,選択した光学モードの閾値モード利得を増加させることができた。しかし,これらのIID開口は拡散フロントの形状を制御する方法の欠如によって制限されている。最大レーザミラー損失に対して,モード制御に使用されるIID開口は深い無秩序化を必要とする。その結果,基本モードに対するレーザ発振閾値を不適切に増加させることができる。拡散マスクの歪を調整することにより,IID開口拡散フロントの形状を制御するための製造可能な方法を示した。単一モード高出力動作のための最適IID開口サイズを決定するための実験解析について議論した。次に,IID開口の結果としての支持高次モードにおける反射鏡損失の数値解析を示した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 開口 ,  単一モード ,  *垂直共振器形面発光レーザ ,  数値解析 ,  酸化物 ,  *光学モード ,  基準モード ,  レーザ発振 ,  反射鏡 ,  共振器 ,  利得 ,  *不純物 ,  反射率
準シソーラス用語： 高次モード ,  *無秩序化 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (9件)： 高性能 ,  VCSEL ,  光学モード ,  工学 ,  不純物 ,  誘起 ,  無秩序化 ,  ウエハ ,  スケール