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J-GLOBAL ID：201802239221487952   整理番号：18A1805480

反射準ランダム正方形ナノピラーアレイによる極端紫外領域における高次回折次数の抑制【JST・京大機械翻訳】

Suppression of higher diffraction orders in the extreme ultraviolet range by a reflective quasi-random square nano-pillar array

著者 (13件)： Wei Lai (School of Physics Science and Engineering, Tongji University, Shanghai 200092, China) ,  Chen Yong (Research Center of Laser Fusion, CAEP, Mianyang 21900, China) ,  Wang Shaoyi (Research Center of Laser Fusion, CAEP, Mianyang 21900, China) ,  Fan Quanping (Research Center of Laser Fusion, CAEP, Mianyang 21900, China) ,  Zhang Qiangqiang (Research Center of Laser Fusion, CAEP, Mianyang 21900, China) ,  Qian Feng (Research Center of Laser Fusion, CAEP, Mianyang 21900, China) ,  Shen Zhenxiang (School of Physics Science and Engineering, Tongji University, Shanghai 200092, China) ,  Zhang Zhong (School of Physics Science and Engineering, Tongji University, Shanghai 200092, China) ,  Hua Yilei (Key Laboratory of Microelectronic Devices and Integrated Technology, Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China) ,  Zhu Xiaoli (Key Laboratory of Microelectronic Devices and Integrated Technology, Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China) ,  Xie Changqing (Key Laboratory of Microelectronic Devices and Integrated Technology, Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China) ,  Wang Zhanshan (School of Physics Science and Engineering, Tongji University, Shanghai 200092, China) ,  Cao Leifeng (Research Center of Laser Fusion, CAEP, Mianyang 21900, China)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 89  号： 9  ページ： 093110-093110-7  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 格子のより高い回折次数は,スペクトルデータの曖昧さをもたらすいわゆる高調波汚染を導入する。また,シンクロトロン放射施設での格子モノクロメータにより処理された「単色」出力ビームにも存在し,光学素子と検出器不正確の較正結果を得た。本論文では,サイズが10cmの格子レリーフパターンのデータ量を低減し,極端紫外領域の回折次数を抑制するために,反射準ランダム正方形ナノピラーアレイ格子の新しい設計について述べた。さらに,格子を備えた実験室規模の格子モノクロメータを開発し,すれすれ入射での分光特性を試験した。結果は,それがより高い回折次数を抑制し,すれすれ入射で通常の格子としてスペクトル分解能を維持できることを示した。格子はシンクロトロン放射,プラズマのスペクトル診断,天体物理の分野で高調波抑制に大きな可能性を持つ。Copyright 2018 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： スペクトル分解 ,  シンクロトロン放射 ,  *極端紫外線 ,  高調波 ,  光学素子 ,  プラズマ ,  モノクロメータ ,  すれすれ入射 ,  スペクトル ,  曖昧さ ,  検出器 ,  単色 ,  *回折次数
準シソーラス用語： レリーフ ,  *ピラーアレイ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 光源  (BD07020D) ,  X線技術  (BA02060D) ,  光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (4件)： 正方形 ,  ピラーアレイ ,  紫外領域 ,  回折次数