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J-GLOBAL ID：201802240041515876   整理番号：18A0488341

コムのためのシングルエンド容量自己センシングシステム駆動XYナノ位置決め装置を駆動する【Powered by NICT】

Single ended capacitive self-sensing system for comb drives driven XY nanopositioners

著者 (9件)： del Corro Pablo G. (Laboratorio de Bajas Temperaturas, Instituto Balseiro, Centro Atomico Bariloche, Comision Nacional de Energia Atomica, Av. Bustillo 9500, R8402AGP S. C. de Bariloche, Argentina) ,  del Corro Pablo G. (Consejo Nacional de Investigaciones Cientificas y Tecnicas, Av. Rivadavia 1917, C1033AAJ C.A.B.A., Argentina) ,  Imboden Matthias (Microsystems for Space Technologies Laboratory, Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), Neuchatel 2002, Switzerland) ,  Perez Diego J. (Division of Material Science Boston University, Boston, MA 02215, United States) ,  Bishop David J. (Division of Material Science Boston University, Boston, MA 02215, United States) ,  Bishop David J. (Department of Physics, Boston University, Boston, MA 02215, United States) ,  Bishop David J. (Department of Electrical & Computer Engineering, Boston University, Boston, MA 02215, United States) ,  Pastoriza Hernan (Laboratorio de Bajas Temperaturas, Instituto Balseiro, Centro Atomico Bariloche, Comision Nacional de Energia Atomica, Av. Bustillo 9500, R8402AGP S. C. de Bariloche, Argentina) ,  Pastoriza Hernan (Consejo Nacional de Investigaciones Cientificas y Tecnicas, Av. Rivadavia 1917, C1033AAJ C.A.B.A., Argentina)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 271  ページ： 409-417  発行年： 2018年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,単一の共通ノードからMEMS XYナノ位置決め装置に基づくコム駆動の位置を自己感知容量システムの実装を提示した。ナノ位置決め装置はマルチユーザPolyMUMPプロセスを用いて作製した,くし形キャパシタフリンジ場は大きく,かなりの偏向を引き起こす面力であった。浮上効果と測定との相関を含む櫛型駆動容量の広範な解析を提示した。各軸を独立に周波数分割多重(FDM)技術を用いて測定した。ナノ位置決め装置自体の対称性を利用して,感度は2倍になった装置の固有静電容量を除くことが出来る。電気測定雑音は2.5aF/√ H zであり,センサ電圧V_=3Vとf_=150kHz,1.1nm/Hz横方向変位雑音に相当する。スキームも自由度ナノ位置決め装置のN程度に拡張することができる。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 自由度 ,  静電容量 ,  対称性 ,  櫛形 ,  *位置決め装置 ,  センサ ,  雑音 ,  電圧 ,  MEMS ,  浮上り
準シソーラス用語： 横方向変位 ,  フリンジ場 ,  *ナノポジショニング ,  *センサシステム ,  *COM【出力装置】 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： くし形駆動装置 ,  ナノポジショナ ,  容量性検出

分類 (5件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  サーボ機構  (IC03030Q) ,  光学顕微鏡,望遠鏡  (QF05050R) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (4件)： コム ,  自己 ,  センシングシステム ,  位置決め装置