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J-GLOBAL ID：201802240683881131   整理番号：18A0715763

Si酸化物基板上に堆積したAu膜の脱濡れ現象に及ぼす超薄Tiシード層の影響【JST・京大機械翻訳】

Influences of ultra-thin Ti seed layers on the dewetting phenomenon of Au films deposited on Si oxide substrates

著者 (6件)： Kamiko Masao (Institute of Industrial Science, The University of Tokyo, 4-6-1 Komaba, Meguro-ku, Tokyo 153-8505, Japan) ,  Kim So-Mang (Department of Electronic Materials Engineering, Kwangwoon University, 447-1 Wolgye-Dong, Nowon-Gu, Seoul 139-701, South Korea) ,  Jeong Young-Seok (Department of Electronic Materials Engineering, Kwangwoon University, 447-1 Wolgye-Dong, Nowon-Gu, Seoul 139-701, South Korea) ,  Ha Jae-Ho (Department of Electronic Materials Engineering, Kwangwoon University, 447-1 Wolgye-Dong, Nowon-Gu, Seoul 139-701, South Korea) ,  Koo Sang-Mo (Department of Electronic Materials Engineering, Kwangwoon University, 447-1 Wolgye-Dong, Nowon-Gu, Seoul 139-701, South Korea) ,  Ha Jae-Geun (Department of Electronic Materials Engineering, Kwangwoon University, 447-1 Wolgye-Dong, Nowon-Gu, Seoul 139-701, South Korea)
資料名： Physica E: Low-Dimensional Systems and Nanostructures  (Physica E: Low-Dimensional Systems and Nanostructures)
巻： 99  ページ： 320-329  発行年： 2018年 
JST資料番号： W1066A  ISSN： 1386-9477  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 非晶質SiO_2基板上に成長させたAu膜(5nm)の脱濡れ現象に及ぼすTiシード層(1nm)の影響を研究し比較した。原子間力顕微鏡の結果は,基板とAuの間のTiの導入が脱ぬれ現象を促進することを示した。X線回折測定は,Tiの初期堆積がAuの結晶性を促進することを示唆した。一連のAuger電子分光法とX線光電子分光法の結果は,Tiが非晶質SiO_2基板表面の還元によりTi酸化物層に変態し,Tiシード層が基板上に残留し,アニーリング中の脱濡れ過程を通さないことを明らかにした。Tiの挿入によるAu脱ぬれの増強とAuの結晶性の改善は,Au位置が非晶質SiO_2基板の表面からTi酸化物層の表面に変化するという事実に起因すると結論した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *チタン ,  結晶度 ,  酸化チタン ,  X線回折 ,  *金 ,  Auger分光法 ,  焼なまし ,  X線光電子分光法 ,  X線光電子スペクトル ,  原子間力顕微鏡 ,  *酸化ケイ素
準シソーラス用語： *シード層 ,  *脱濡れ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 脱濡れ ,  結晶化 ,  薄膜構造 ,  XPS ,  チタン ,  金

分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： Si酸化物 ,  堆積 ,  Au ,  脱濡れ ,  現象 ,  Ti ,  シード層