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J-GLOBAL ID：201802240895858622   整理番号：18A0910735

円形磁石モノポール配置で得られたターゲット用のRF磁化リング形状プラズマ

RF magnetized ring-shaped plasma for target utilization obtained with circular magnet monopole arrangement

著者 (3件)： HOSSAIN Md. Amzad (Saga Univ., Saga, JPN) ,  HOSSAIN Md. Amzad (Jessore Univ. Sci. and Technol., Jessore, BGD) ,  OHTSU Yasunori (Saga Univ., Saga, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 57  号： 1S  ページ： 01AA05.1-01AA05.7  発行年： 2018年01月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： 磁気単極子 ,  *ターゲット ,  *RFスパッタリング ,  スパッタリング ,  電子温度 ,  電子密度 ,  *マグネトロンスパッタリング ,  平均自由行程 ,  Langmuir探針 ,  *プラズマ診断 ,  電子平均自由行程
準シソーラス用語： プラズマスパッタリング

分類 (2件)： プラズマ装置  (BJ02082I) ,  プラズマ診断  (BJ02090L)

タイトルに関連する用語 (8件)： 円形 ,  磁石 ,  モノポール ,  ターゲット ,  RF ,  磁化 ,  リング形状 ,  プラズマ