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J-GLOBAL ID：201802242841231282   整理番号：18A2043980

パターン崩壊評価のための300mmウエハ開発【JST・京大機械翻訳】

300 mm Wafer Development for Pattern Collapse Evaluations

著者 (8件)： Xu Xiu Mei (IMEC; Kapeldreef 75, Leuven, 3001, Belgium) ,  Zheng Tao (IMEC; Kapeldreef 75, Leuven, 3001, Belgium) ,  Saib Mohamed (IMEC; Kapeldreef 75, Leuven, 3001, Belgium) ,  Sebaai Farid (IMEC; Kapeldreef 75, Leuven, 3001, Belgium) ,  van de Kerkhove Jeroen (IMEC; Kapeldreef 75, Leuven, 3001, Belgium) ,  Vrancken Nandi (IMEC; Kapeldreef 75, Leuven, 3001, Belgium) ,  Vereecke Guy (IMEC; Kapeldreef 75, Leuven, 3001, Belgium) ,  Holsteyns Frank (IMEC; Kapeldreef 75, Leuven, 3001, Belgium)
資料名： Solid State Phenomena  (Solid State Phenomena)
巻： 282  ページ： 207-210  発行年： 2018年 
JST資料番号： T0583A  ISSN： 1012-0394  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 過去10年間に,湿式処理後の高アスペクト比(HAR)構造のパターン崩壊を低減し,防止するために多くの先進的乾燥技術が開発されてきた。しかし,文献で用いられているHAR構造の異なる寸法,プロファイルおよび材料は,異なる乾燥プロセスの効率を比較することを困難にしている。本研究では,HAR構造の固有機械的性質の関数としてパターン崩壊速度を定量的に解析するために,標準の300mmウエハ試験構造,特性化および解析技術を開発した。このような標準化された単一ウエハ評価は,異なる乾燥技術をベンチマーキングするために重要である。Copyright 2018 Trans Tech Publications Ltd. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 乾式法 ,  キャラクタリゼーション ,  *標準化 ,  剛性 ,  機械的性質
準シソーラス用語： ベンチマーキング ,  高アスペクト比 ,  湿式処理 ,  *300mmウエハ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： パターン崩壊 ,  特性化技術 ,  高アスペクト比(HAR)構造 ,  機械的剛性

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 崩壊 ,  評価 ,  300mmウエハ ,  開発