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J-GLOBAL ID：201802243189479938   整理番号：18A1042680

直接レーザ描画リソグラフィーにより作製した大規模高開口超振動レンズ【JST・京大機械翻訳】

Large-scale high-numerical-aperture super-oscillatory lens fabricated by direct laser writing lithography

著者 (10件)： Ni Haibin (State Key Laboratory of Bioelectronics, School of Biological Science and Medical Engineering, National Demonstration Center for Experimental Biomedical Engineering Education, Southeast University, Nanjing 210096, China. [e-mail]) ,  Yuan Guanghui ,  Sun Liangdong ,  Chang Ning ,  Zhang Di ,  Chen Ruipeng ,  Jiang Liyong ,  Chen Hongyuan ,  Gu Zhongze ,  Zhao Xiangwei
資料名： RSC Advances (Web)  (RSC Advances (Web))
巻： 8  号： 36  ページ： 20117-20123  発行年： 2018年 
JST資料番号： U7055A  ISSN： 2046-2069  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,直接レーザ書込み(DLW)リソグラフィーを用いて,大規模で高開口の超振動レンズ(SOL)を作製した。これは,微妙な干渉により,光遠方場領域においてサブAbbe-Rayleigh回折限界を達成できる。1μmの最小環状リング幅を有する大直径(600μm),振幅変調および位相型SOLを作製し,それらは高品質を有した。基板材料,レーザ出力,走査速度を含む作製パラメータへのDLW印刷の依存性を調べた。金属膜上の直接印刷パターンを回避し,表面粗さを劇的に低減する,高品質二元振幅SOLを製造するための標準手順を示した。SOLsを構成する正方形間のランダム変位について議論し,集束性能に及ぼすそれらの影響を数値シミュレーションと実験の両方によって研究した。DLW法により作製したSOLの光学性能を実験的に特性化し,λ=633nmに対して100μmの動作距離において約6μmのスポットサイズをもつ針状焦点を確認し,空気中で1.19と高い有効開口を得た。従来のリソグラフィーとナノ作製法の間の相補的なサブミクロン作製法として,DLWはSOLsを製造するための有望な方法であることが証明され,比較的高速,低い装置体積,より少ない複雑さおよびサブミクロンの横方向分解能の利点を示す。このようなSOLは,粗い表面および関連する研究分野における高分解能バイオイメージングにおいて非常に有用である。Copyright 2018 Royal Society of Chemistry All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 印刷 ,  レーザ出力 ,  遠方場 ,  位相 ,  *レンズ ,  *リソグラフィー ,  集束 ,  金属薄膜 ,  キャラクタリゼーション ,  高速度 ,  *開口 ,  高分解能
準シソーラス用語： バイオイメージング ,  数値シミュレーション ,  回折限界 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  光学器械要素とその材料  (QF05020K)

タイトルに関連する用語 (5件)： レーザ描画 ,  リソグラフィー ,  作製 ,  大規模 ,  レンズ