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J-GLOBAL ID：201802243556316613   整理番号：18A1557696

PEG表面上のミスト堆積法でのNa吸収による2次イオンの検出感度の改善

Improvement in the Detection Sensitivity of Secondary Ions by Na Absorption with the Mist Deposition Method on a PEG Surface

著者 (4件)： MATSUDA Taiki (Kyoto Univ.) ,  SEKI Toshio (Kyoto Univ.) ,  AOKI Takaaki (Kyoto Univ.) ,  MATSUO Jiro (Kyoto Univ.)
資料名： Annual Report of Quantum Science and Engineering Center  (Annual Report of Quantum Science and Engineering Center)
巻： 20  ページ： 25-26  発行年： 2018年07月 
JST資料番号： L6689A  ISSN： 1345-0700  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高い2次イオン収率は,2次イオン質量分析(SIMS)における有機試料の高分解能イメージングにとって重要である。そのため,金属基板上の有機単層をカチオン化することが2次イオンの最高検出感度がある方法として用いられた。単原子イオンビームは試料を激しく損傷するため,単原子イオンビームは厚い試料をスパッタできない。最近,ガスクラスタイオンビームは有機試料に対して低い損傷と高いスパッタリング速度を持ち,クラスタイオンビームは,厚い有機試料に対して損傷を蓄積することなく2次イオンが得られる。厚い有機試料は金属基板によってカチオン化できないが,アルカリ金属を混合すればカチオン化できる。試料中へアルカリ金属を混合する方法はイメージングには適用できない。そのため,ポリエチレングリコール(PEG)表面上へのミスト堆積でのNa吸収により2次イオンの検出感度を改善することを試みた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 化学蒸着 ,  ナトリウム ,  *二次イオン質量分析 ,  イオンビーム ,  *ポリエチレンオキシド ,  イオンビームスパッタリング ,  イオン化 ,  基板 ,  収率 ,  二次イオン ,  感度 ,  性能 ,  能力 ,  有機材料
準シソーラス用語： イオン収率 ,  ガスクラスターイオンビーム ,  *カチオン化 ,  ポリエチレングリコール ,  ミストCVD ,  金属基板 ,  *検出感度

分類 (1件)： 有機化合物の物理分析  (CC03034A)

引用文献 (1件)：

• John Vickerman, and David Briggs ′′ToF-SIMS Materials Analysis by Mass Spectrometry′′ 2nd edition (2013)

タイトルに関連する用語 (6件)： PEG ,  ミスト ,  堆積 ,  Na ,  2次イオン ,  検出感度