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J-GLOBAL ID：201802243875906588   整理番号：18A1212239

異なる波長効果を持つナノ秒パルスレーザ照射に基づく多結晶シリコン損傷特徴の研究【JST・京大機械翻訳】

A Study of Polycrystalline Silicon Damage Features Based on Nanosecond Pulse Laser Irradiation with Different Wavelength Effects

著者 (4件)： Xu Jiangmin (School of Mechanical Engineering, Jiangsu University of Science and Technology, Zhenjiang 212013, Jiangsu, China) ,  Chen Chao (School of Mechanical Engineering, Jiangsu University of Science and Technology, Zhenjiang 212013, Jiangsu, China) ,  Zhang Tengfei (School of Mechanical Engineering, Jiangsu University of Science and Technology, Zhenjiang 212013, Jiangsu, China) ,  Han Zhenchun (School of Mechanical Engineering, Jiangsu University, Zhenjiang 212013, Jiangsu, China)
資料名： Materials (Web)  (Materials (Web))
巻： 10  号： 3  ページ： 260  発行年： 2017年 
JST資料番号： U7237A  ISSN： 1996-1944  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： PVDF(圧電センシング技術)に基づいて,本論文は,ポリシリコンの三波長レーザ照射の過程の間,脆性材料における衝撃波の伝搬法則を研究することを試みて,熱衝撃破壊の形成機構を検討した。実験結果は,パルス化レーザ照射の過程における蒸気圧効果とプラズマ圧力効果が,高温と高密度融液の飛散をもたらすことを示した。レーザ波長の減少とともに,レーザ破壊閾値は減少し,衝撃波は弱まった。レーザ衝撃の圧力効果のため,脆性破壊領域は照射領域の端部にある。表面波に起因する表面張力勾配と表面せん断波は,光学と熱力学の間のコヒーレント結合の結果である。ポリシリコンにおけるレーザ衝撃波の平均伝搬速度は8.47×103m/sであり,実験はレーザ衝撃波圧力ピークがポリシリコンの減衰を指数関数的に分布するという結論に達した。Copyright 2018 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 熱力学 ,  パルス化 ,  圧力効果 ,  *ナノ秒 ,  *レーザ照射 ,  高温 ,  *波長 ,  *レーザ ,  *ポリシリコン ,  コヒーレンス ,  衝撃波 ,  *パルスレーザ照射 ,  圧電気
準シソーラス用語： レーザ衝撃 ,  融液 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： レーザ波長 ,  ポリシリコン ,  レーザ損傷 ,  熱ショック

分類 (1件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S)

引用文献 (22件)：

• Li, Z.; Zhu, W.; Cheng, J.; Guo, D.; Wu, H. Experimental study of high-power pulsed laser induced shock waves in aluminum targets. Chin. J. Lasers 1997, 24, 259.
• Liu, L.; Wang, S.; Wu, H.; Guo, D.; Liao, P. Experimental study of high-power laser induced shock waves. Laser Technol. 2007, 31, 134.
• Qi, S. Interaction between Different Wavelengths Laser and Semiconductor Material Hg Cd Te and Si. Master’s Thesis, Changchun University of Science and Technology, Changchun, China, 2010.
• Chen, H.; Chang, L.; Jeng, M.; La, C. Characterization of laser carved microchannel polycrystalline silicon solar cell. Solid State Electron. 2011, 61, 23-28.
• Karnakis, D.M. High power single-shot laser ablation of silicon with nanosecond 355 nm. Appl. Surf. Sci. 2006, 252, 7823-7825.

タイトルに関連する用語 (5件)： 波長 ,  ナノ秒パルスレーザ ,  多結晶シリコン ,  損傷 ,  研究