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J-GLOBAL ID:201802244886537394   整理番号:18A0199081

従来のSiベースSGMOSFET上のサブ10nm GaNベースDG-MOSFETの素子性能の影響【Powered by NICT】

Influence of device performance of Sub-10 nm GaN-based DG-MOSFETs over conventional Si-based SG-MOSFETs
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資料名:
巻: 2017  号: ICAEE  ページ: 697-702  発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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調査は,従来のSiベース単一ゲート(SG)MOSFET上のサブ10nm GaNを基本とする二重ゲート(DG)MOSFETで実施した。投影装置はSilvaco ATLASとそれに続くNEGF法を用いてL_g=7.3nmと9.3nmゲート長GaNベースDG-MOSFETのために設計した。一次目標は,単一(SG)上の二重ゲート(DG)をSCE(短期短チャネル効果の)を低減することであった。研究はシミュレーションの結果に基づく電場のサブしきい値勾配(SS),ION,ドレイン誘起障壁低下(DIBL)とスイッチング挙動であった。GaNをベースにしたDG-MOSFETは,従来のSi系SGMOSFETよりも良好な改善結果を示した。GaNをベースにしたDG-MOSFETは優れたオン状態電流と高速スイッチング性能のために従来のSi系SGMOSFET上で注目を集めている。デバイス設計と性能に対する達成可能な移動度の影響をVLSI応用のための有望な候補としてGaNベースDG-MOSFETを主張している。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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