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J-GLOBAL ID：201802245622339524   整理番号：18A1900460

屈曲ベース3-PRPS並列マイクロ/ナノ位置決めシステム【JST・京大機械翻訳】

A Flexure-Based 3-PRPS Parallel Micro-/Nanopositioning System

著者 (8件)： Zhang Defu (Chinese Academy of Sciences, Engineering Research Center of Extreme Precision Optics, State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Changchun, Jilin Province, China) ,  Chen Huanan (Chinese Academy of Sciences, Engineering Research Center of Extreme Precision Optics, State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Changchun, Jilin Province, China) ,  Li Pengzhi (Chinese Academy of Sciences, Engineering Research Center of Extreme Precision Optics, State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Changchun, Jilin Province, China) ,  Guo Kang (Chinese Academy of Sciences, Engineering Research Center of Extreme Precision Optics, State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Changchun, Jilin Province, China) ,  Ni Mingyang (Chinese Academy of Sciences, Engineering Research Center of Extreme Precision Optics, State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Changchun, Jilin Province, China) ,  Li Xianling (Chinese Academy of Sciences, Engineering Research Center of Extreme Precision Optics, State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Changchun, Jilin Province, China) ,  Sui Yongxin (Chinese Academy of Sciences, Engineering Research Center of Extreme Precision Optics, State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Changchun, Jilin Province, China) ,  Zhang Jianguo (Chinese Academy of Sciences, Engineering Research Center of Extreme Precision Optics, State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Changchun, Jilin Province, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： ICMA  ページ： 515-520  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 6-DOF位置決め機構を本論文で提案した。この機構は3-PRPS構成を採用し,出力プラットフォームの周囲に沿って並列に分布する3つの平行な四肢を持っている。機構出力直線性を増加して,アクチュエータに関する分解能要求を減少するために,レバー変位減少機構を,需要を満たすために活用した。コンプライアンス行列法(CMM)を用いて機構のコンプライアンスパラメータ化モデルを確立し,機構の出力コンプライアンスを解析的に8.479e-08m/Nと計算した。確立したモデルをANSYSソフトウェアパッケージの有限要素解析(FEA)により検証した。FEA結果は6.965e-08m/Nであった。CMMとFEAの結果には,21.74%のモデル偏差がある。出力プラットフォームは,FEA結果に従って600Nの最大x軸負荷に耐えることができる。機構性能を検証するために,プロトタイプを作成し,ストローク試験実験を行った。その結果,ストロークは±40μm±30μm±200μrad±300μradであることを示した。開発マイクロ/ナノ位置決めプラットフォームは効果的であり,6-DOF空間位置決めに適用することが期待される。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 線形性 ,  コンプライアンス ,  分解能 ,  *位置決め ,  アクチュエータ ,  プロトタイプ ,  マトリックス法 ,  プログラムパッケージ ,  パラメタリゼーション
準シソーラス用語： 有限要素解析 ,  ANSYS ,  位置決めシステム ,  *ナノポジショニング , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (2件)： 屈曲 ,  位置決めシステム