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J-GLOBAL ID:201802246304296065   整理番号:18A0203311

二重ゲートN~+ポケット基づくdopinglessトンネル電界効果トランジスタのTCADシミュレーション【Powered by NICT】

TCAD simulations of dual gate N+ pocket based dopingless tunnel field effect transistor
著者 (3件):
資料名:
巻: 2017  号: RTEICT  ページ: 1592-1595  発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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本論文では,二重ゲートN~+ポケットの2D性能解析に基づくdopinglessトンネル電界効果トランジスタ。提案した素子におけるN~+ポケットを,製作複雑さを増加させるすなわち,垂直TFETにおけるエピタキシャル成長と平面TFETにおけるイオン注入のいずれかであった。これを成功するために,電荷プラズマ概念のアイデアを用いて,イオン注入の別々の方法などを必要とせずに内蔵N+ポケットを提案し,提案したデバイス中のN+ポケットの使用は,主にトンネル長さ,トンネル電圧を減少させ,提案したデバイスの電気特性を改善することを減少させた。提案したデバイスのシミュレーション結果は,41mV/decade平均の低サブしきい値スイング(SS)を有していた。(SS)S3mV/decadeと良好なI_ON/I_OFF比1.25×10~11であった。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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トランジスタ 
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