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J-GLOBAL ID：201802246892774025   整理番号：18A0999612

曲面結合を除去するための三次元直交走査を用いた原子間力顕微鏡走査ヘッド【JST・京大機械翻訳】

Atomic force microscope scanning head with 3-dimensional orthogonal scanning to eliminate the curved coupling

著者 (6件)： Shi Yushu (State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments, Tianjin University, Tianjin 300072, China) ,  Shi Yushu (National Institute of Metrology, Beijing 100029, China) ,  Li Wei (National Institute of Metrology, Beijing 100029, China) ,  Gao Sitian (National Institute of Metrology, Beijing 100029, China) ,  Lu Mingzhen (National Institute of Metrology, Beijing 100029, China) ,  Hu Xiaodong (State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments, Tianjin University, Tianjin 300072, China)
資料名： Ultramicroscopy  (Ultramicroscopy)
巻： 190  ページ： 77-80  発行年： 2018年 
JST資料番号： W0972A  ISSN： 0304-3991  CODEN： ULTRD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子間力顕微鏡(AFM)走査ヘッドを,曲率歪を除去するために,計測用AFM用のプローブ直交走査モードを用いて設計した。AFMプローブは圧電ステージで駆動され,3方向のプローブの走査軌跡は直交して交差結合を減少させる。結合誤差を除去するために,新しい光レバー増幅光路を開発した。追跡レンズとプローブチップは統合部分として移動する。AFMは接触モードで動作する。プローブチップのステップアプローチプロセスを試料表面に対して試験し,AFMヘッドの雑音を解析した。プローブの応答はz方向のプローブヘッドの0.5nm分解能を実証した。最後に,走査ヘッドの平面走査性能を,チューブ走査AFMと比較して実証した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *走査 ,  圧電気 ,  曲率 ,  プローブ ,  *三次元 ,  分解能 ,  *原子間力顕微鏡 ,  レンズ ,  *直交性 ,  雑音 ,  軌跡
準シソーラス用語： プローブチップ ,  光路 ,  *走査ヘッド , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 原子間力顕微鏡 ,  走査ヘッド ,  ナノ計測学 ,  表面トポグラフィー

分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (4件)： 曲面 ,  走査 ,  原子間力顕微鏡 ,  走査ヘッド