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J-GLOBAL ID：201802249526695078   整理番号：18A0970944

イオン軌跡のシミュレーションによる遅延場エネルギー分析器伝送の解析【JST・京大機械翻訳】

Analysis of retarding field energy analyzer transmission by simulation of ion trajectories

著者 (6件)： van de Ven T. H. M. (University of Technology Eindhoven, Eindhoven, The Netherlands) ,  de Meijere C. A. (ASML, Veldhoven, The Netherlands) ,  van der Horst R. M. (ASML, Veldhoven, The Netherlands) ,  van Kampen M. (ASML, Veldhoven, The Netherlands) ,  Banine V. Y. (University of Technology Eindhoven, Eindhoven, The Netherlands) ,  Beckers J. (University of Technology Eindhoven, Eindhoven, The Netherlands)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 89  号： 4  ページ： 043501-043501-11  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 遅延場エネルギー分析器(RFeAs)は,イオンエネルギー分布関数の測定のために日常的に使用されている。対照的に,イオンフラックス密度を測定する能力は,RFEAグリッドの効果的な伝送についての知識が不足しているため,信頼できないと考えられている。本研究では,シミュレーションソフトウェアSIMIONを用いて3グリッドRFEAを通してイオン軌跡をシミュレートした。理想化試験事例を用いて,高イオンエネルギー(すなわち>100eV)において,透過は個々の格子透明度の積よりもむしろ光透過に等しいことを示した。20eV以下では,イオン軌跡は格子間の電場に強く影響される。この領域では,格子アラインメントとイオン集束効果がイオンエネルギーによる透過のゆらぎに寄与する。次に,モデルを用いて実験的RFEAプローブの透過とエネルギー分解能をシミュレートした。格子不整合は低エネルギーでの透過ゆらぎを低減する。このモデルは最小エネルギー分解能を予測し,これは小さなエネルギー帯域幅を持つイオンのビームでプローブを照射することにより実験的に確認された。(翻訳著者抄録)【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *イオン ,  エネルギー分解能 ,  電場 ,  プローブ ,  帯域幅 ,  分布関数 ,  *軌跡 ,  ゆらぎ ,  透明度 ,  アラインメント ,  格子不整合 ,  光透過
準シソーラス用語： イオンフラックス ,  イオンエネルギー ,  *エネルギー解析 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

タイトルに関連する用語 (5件)： イオン ,  軌跡 ,  シミュレーション ,  遅延 ,  解析