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J-GLOBAL ID:201802250765018470   整理番号:18A0431801

高温貯蔵中の市販Cu UBMと比較したFe-Ni UBMの拡散障壁効果【Powered by NICT】

The diffusion barrier effect of Fe-Ni UBM as compared to the commercial Cu UBM during high temperature storage
著者 (11件):
資料名:
巻: 739  ページ: 632-642  発行年: 2018年 
JST資料番号: D0083A  ISSN: 0925-8388  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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高温貯蔵はバンプ下地金属(UBM)下でのFe-Niの拡散障壁効果を評価するために,125°C,150°Cおよび175°CでSnAgCu/Fe Ni(73wt%Niおよび45wt%Ni)だけでなく,SnAgCu/Cuはんだ接合について検討した。Fe-73Niはんだ継手の場合,棒状(Cu,Ni)6Sn_5は最終的にFeSn_2層上に連続的な外部層の形で蓄積し,時効時間と共に増加した。Cu UBMと比較して,Fe-73Ni UBMは125°Cと150°Cで良好な拡散障壁効果を示した。しかし,温度が175°Cまで増加したとき,FeSn_2と(Cu,Ni)6Sn_5の間の相互拡散は混合IMC層,それはさらにIMC厚さの急激な増加とUBMの急速な溶解を伴っていた(Ni,Cu)3Sn_4相への変換を生成した。SAC/Fe 45Niはんだ接合の観点から,(Cu,Ni)6Sn_5の成長速度と(Ni,Cu)3Sn_4の変態は抑制され,UBM後コンパクトFeSn_2層とより高いFe含量をもたらした。その結果,Fe-45Ni UBMを175°Cに125°Cから優れた拡散障壁効果を示し,CuとFe73Ni UBMと比較して。界面金属間化合物(IMC)の統計的厚さを用いて,Fe-45Niはんだ接合におけるFeSn_2と(Cu,Ni)6Sn_5の拡散律速成長の活性化エネルギーは106kJ/molと122kJ/mol,Cuはんだ接合におけるCu_3Sn(97 kJ/mol)とCu_6Sn_5(86 kJ/mol)のそれより高いと計算された。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (2件):
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ろう付  ,  変態組織,加工組織 
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