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J-GLOBAL ID：201802252618609750   整理番号：18A1103485

櫛形電極間の静電電位を使った共鳴加速度計

Resonant Accelerometers using Electrostatic Potential between the Comb Electrodes

著者 (3件)： Liu Jiannan (Chiba Institute of Technology) ,  Hoshino Keisuke (Chiba Institute of Technology) ,  Muro Hideo (Chiba Institute of Technology)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 138  号： 6  ページ： 226-230(J-STAGE)  発行年： 2018年 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： より低いコストでより小さい加速度計を実現するために,共鳴周波数のかなりの変化をもたらす櫛形電極間の静電場に印加した加速度により質量を表示する新たな共鳴加速度計を提案した。以前の論文では,質量の面積は1平方mmであり,シリコン共振器の静電気同調のための質力内の穴に補助電極を形成した。加速度計を小型化するために,750平方μmと500平方μmの面積を持つプロトタイプを設計し,SOI-MEMS技術を使って製作し,その基本特性を評価した。1Gの印加加速度の下での共鳴周波数の変化は,数十%であり,シミュレーション結果と一致し,この共鳴センサの動作原理を成功裏に実証した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 電極 ,  電位 ,  *加速度計 ,  共鳴 ,  共振周波数 ,  MEMS ,  静電ポテンシャル
準シソーラス用語： 共鳴周波数 ,  櫛形電極 ,  静電電位

著者キーワード (10件)： 共振センサ ,  静電ポテンシャル ,  SOI-MEMS ,  くし形電極 ,  静電駆動 ,  共振センサ ,  静電ポテンシャル ,  SOI-MEMS ,  くし形電極 ,  静電駆動

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

引用文献 (10件)：

• (1) S. C. Chang, M. W. Putty, D. B. Hicks, and C. H. Li : “Resonant-bridge two-axis micro accelerometer”, Sensors and Actuators, Vol.A21-A23, pp.342-345 (1990)
• (2) T. A. Roessig, R. T. Howe, A. P. Pisano, and J. H. Smith : “Surface- Micromachined Resonant Accelerometer”, 1997 International Conference on Solid-State Sensors and Actuators (Transducers ‘97), pp.16-19 (1997)
• (3) C. Comi, A. Corigliano, A. Merassi, and B. Simoni : “A surface micromachined resonant accelerometer with high resolution”, Proc. 7th European Solid Mechanics Conference, Lisbon, 7-11 September (2009)
• (4) D. Chen, Z. Wu, Lei, Liu, X. Shi, and J. Wang : “An Electromagnetically Excited Silicon Nitride Beam Resonant Accelerometer”, Sensors, Vol.9, pp.1330-1338 (2009)
• (5) O. Tabata and T. Yamamoto : “Two-axis detection resonant accelerometer based on rigidity change”, Sensors and Actuators A, Vol.75, pp.53-59 (1999)

タイトルに関連する用語 (4件)： 櫛形電極 ,  静電電位 ,  共鳴 ,  加速度計