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J-GLOBAL ID：201802253134955292   整理番号：18A1334295

逆L形UV-LEDアレイ内に置かれたチェッカーボードハーフミラーにより強化された均一強度を持つ光源の開発

Development of a light source with a uniform intensity reinforced by a checkerboard half-mirror positioned within inverse L-shaped UV-LED arrays

著者 (3件)： TAKAHASHI Hidetoshi (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  SHIMOYAMA Isao (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  HEO Yun Jung (Kyung Hee Univ., Gyeonggi, KOR)
資料名： Applied Physics Express  (Applied Physics Express)
巻： 11  号： 6  ページ： 066701.1-066701.3  発行年： 2018年06月 
JST資料番号： F0599C  ISSN： 1882-0778  CODEN： APEPC4  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,逆L形UV-LEDアレイ内に位置するチェッカーボードハーフミラーを用いて,均一な光強度をもつ簡単で低コストで長時間持続するUV-LEDベース光源を提案した。上部UV-LEDアレイからの光線はチェッカーボードハーフミラーの透明部分を通過し,一方,側面UV-LEDアレイからの光線は,残りの不透明部分に直角に反射された。したがって,一様な光強度は底部領域で達成された。開発したUV-LED光源を用いて,大面積に均一な形状をもつ微細構造を作製し,それによりMEMS作製のための実現可能な応用を示した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *発光ダイオード ,  アレイ ,  ハーフミラー ,  光源 ,  放射強度 ,  微細構造 ,  MEMS ,  *紫外光源 ,  均一性
準シソーラス用語： *UV-LED ,  LEDアレイ ,  光強度

分類 (1件)： 光源,照明器具  (NB12020F)

引用文献 (15件)：

• C. Beuret, G.-A. Racine, J. Gobet, R. Luthier, and N. F. de Rooij, Proc. MEMS, 1994, p. 81.
• M. Han, W. Lee, S.-K. Lee, and S. S. Lee, Sens. Actuators A 111, 14 (2004).
• Y.-K. Yoon, J.-H. Park, and M. G. Allen, J. Microelectromech. Syst. 15, 1121 (2006).
• S. Suzuki and Y. Matsumoto, Microsyst. Technol. 14, 1291 (2008).
• M. D. Huntington and T. W. Odom, Small 7, 3144 (2011).

タイトルに関連する用語 (5件)： L形 ,  UV-LED ,  アレイ ,  強化 ,  開発