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J-GLOBAL ID：201802253470728151   整理番号：18A0189855

導電性半導体薄膜及び超伝導薄膜のシート抵抗と抵抗率の測定【Powered by NICT】

Sheet resistance and resistivity measurements of thin conducting semiconducting and superconducting films

著者 (1件)： Krupka Jerzy (Institute of Microelectronics and Optoelectronics, Warsaw University of Technology, 00-665 Warsaw, Poland)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： IMWS-AMP  ページ： 1-3  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では分割後と単一のポスト誘電体共振器法を用いたシート抵抗と抵抗率測定の概要を示した。理論部分では,測定の基本原理は,測定の精度の評価を述べた。実験ではいくつかの材料の測定の結果は,金属,半導体,超伝導体を含めて紹介した。誘電体共振器ヘッドに基づくシート抵抗/比抵抗マッピング結果を提示した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *超伝導薄膜 ,  超伝導体 ,  *半導体 ,  *シート抵抗 ,  *半導体薄膜 ,  誘電体共振器 ,  *電気抵抗率 ,  *導電性

分類 (3件)： R,L,C,Q,インピーダンス,誘電率の計測法・機器  (AD07030N) ,  酸化物系超伝導体の物性  (BM04023I) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： 導電性 ,  半導体薄膜 ,  超伝導薄膜 ,  シート抵抗 ,  抵抗率