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J-GLOBAL ID：201802256135089938   整理番号：18A1892909

異なるタイプのDLC膜の膜構造に及ぼす酸素プラズマ処理の影響

Effect of Oxygen Plasma Treatment on Film Structure for Different Types of DLC film

著者 (6件)： Mayama Tatsuya (Tokyo Denki University) ,  Hiratsuka Masanori (Nanotec Corporation) ,  Nakamori Hideki (Nanotec Corporation) ,  Homma Akihiko (Tokyo Denki University) ,  Hirakuri Kenji (Tokyo Denki University) ,  Ohgoe Yasuharu (Tokyo Denki University)
資料名： Transactions of the Materials Research Society of Japan  (Transactions of the Materials Research Society of Japan)
巻： 43  号： 5  ページ： 275-278(J-STAGE)  発行年： 2018年 
JST資料番号： L4468A  ISSN： 1382-3469  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 異なるソースと方法による5種類のダイヤモンド状炭素(DLC)膜{DCパルスCVD(ベンゼン),RFCVD(ブチルベンゼン),イオン化(ベンゼン),HiPIMS(炭素),RFCVD(ピロール)}をSi基板上に蒸着した。RF容量結合プラズマによる酸素プラズマ処理をこれらのDLC膜に均一に適用した。膜厚はプラズマ処理時間と共に直線的に減少した。全ての基板において,膜表面のC=O割合は0.5分間の酸素プラズマ処理により増加し,C=O割合はさらなる処理時間に対して一定であった。さらに,炭化水素ガスによって蒸着したDLC膜のXPS炭素1s(C_1s)スペクトルの半値全幅(FWHM)は,深さ方向に対して一定であった。しかし,任意のDLC膜で,XPS C_1sスペクトルのFWHMは,DLC膜の表面層と中間層で大きく変化した。したがって,炭化水素ガス(ベンゼン,ブチルベンゼン)を材料として用いたDLC膜では,FWHMは一定であることが示唆された。一方,材料として炭素を用いたHiPIMSにおいて,FWHMは膜の中間部で増加した。材料としてピロールを用いたRFCVDにおいて,表面層におけるFWHMは増加した。膜蒸着法と材料に依存して,膜表面層と中間層の間で構造が異なることが示唆された。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *DLC膜 ,  *膜構造 ,  プラズマ ,  *酸素 ,  *プラズマ処理 ,  *化学蒸着 ,  直流 ,  RF放電 ,  イオン化 ,  マグネトロンスパッタリング ,  基板 ,  ケイ素 ,  *膜厚 ,  *カルボニル基 ,  時間依存性 ,  X線光電子分光法 ,  *FWHM ,  *深さプロフィル ,  酸素プラズマ
準シソーラス用語： CVD【化学蒸着】 ,  HiPIMS ,  XPS法 ,  イオン化蒸着 ,  深さ方向プロフィル ,  半値全幅

著者キーワード (8件)： DLC膜 ,  酸素プラズマ処理 ,  C=O結合 ,  膜構造の深さプロファイル ,  DLC膜 ,  酸素プラズマ処理 ,  C=O結合 ,  膜構造の深さプロファイル

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

引用文献 (10件)：

• [1] A. Catena, S Agnello, L. Rösken, H. Bergen, E Recktenwald, F. Bernsmann, H Busch, M. Cannas, F. Gelardi, B. Hahn, S. Wehner, C. Fischer, Carbon, 96, 61-671 (2016)
• [2] T. Hasebe, A. Hotta, H. Kodama, A. Kamijo, K. Takahashi, T. Suzuki, New Diamond and Frontier Carbon Technology, 17, 263-279 (2007)
• [3] J. Robertson, Materials Science and Engineering, 37, 129-281 (2002)
• [4] J. Robertson, Materials Science and Engineering, 37, 129-281 (2002)
• [5] A. Grill, Diamond Related Materials, 12, 166-170 (2003)

タイトルに関連する用語 (4件)： タイプ ,  DLC膜 ,  膜構造 ,  酸素プラズマ