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J-GLOBAL ID：201802256731286382   整理番号：18A1213058

MOCVD誘導GdYBCO膜の横方向均一性の改善のための多開口シャワー設計【JST・京大機械翻訳】

Multi-Aperture Shower Design for the Improvement of the Transverse Uniformity of MOCVD-Derived GdYBCO Films

著者 (8件)： Zhao Ruipeng (State Key Lab of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China) ,  Liu Qing (State Key Lab of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China) ,  Xia Yudong (School of Physical Science and Technology, Southwest Jiaotong University, Chengdu 610031, China) ,  Zhang Fei (Chengdu Fine Optical Engineering Research Center, Chengdu 610041, China) ,  Lu Yuming (School of Physics, Shanghai University, Shanghai 200444, China) ,  Cai Chuanbing (School of Physics, Shanghai University, Shanghai 200444, China) ,  Tao Bowan (State Key Lab of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China) ,  Li Yanrong (State Key Lab of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China)
資料名： Materials (Web)  (Materials (Web))
巻： 10  号： 9  ページ： 1088  発行年： 2017年 
JST資料番号： U7237A  ISSN： 1996-1944  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 多開口シャワー設計により,スパッタ-LaMnO3/エピタキシャル-MgO/IBAD-MgO/溶液堆積平坦化(SDP)-Y2O3バッファ化ハステロイテープのテンプレート上のGdYBCO超伝導膜の横方向均一性を改善することを報告した。GdYBCO膜を金属有機化学蒸着(MOCVD)プロセスによって調製した。構造,形態,厚さ,および性能の横方向均一性を,X線回折(XRD),走査電子顕微鏡(SEM),ステッププロファイラ,および標準4プローブ法により,それぞれ1μV/cmの基準を用いて特性化した。スリットシャワーの代わりにマルチ開口シャワーを採用することを通して,ステッププロファイラによる測定は,スリットシャワー設計に基づく中間と端部の間の厚さ差がよく除去されることを明らかにした。SEMによる特性化により,滑らかな表面を有するGdYBCO膜の作製に成功したことを示した。さらに,77Kおよび自己場におけるその中間およびエッジ位置の輸送臨界電流密度(Jc)は,マイクロブリッジ4プローブ法を採用することにより,5MA/cm2以上であることが分かった。Copyright 2018 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 超伝導薄膜 ,  キャラクタリゼーション ,  臨界電流 ,  *開口 ,  X線回折 ,  *MOCVD ,  エピタクシー ,  プローブ ,  臨界電流密度 ,  *シャワー ,  モルフォロジー ,  走査電子顕微鏡
準シソーラス用語： マイクロブリッジ ,  平坦化 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 多開口シャワー ,  GDyBCO ,  MOCVD ,  形態学 ,  臨界電流

分類 (2件)： 酸化物系超伝導体の物性  (BM04023I) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (26件)：

• Selvamanickam, V.; Chen, Y.; Xiong, X.; Xie, Y.; Zhang, X.; Rar, A.; Martchevskii, M.; Schmidt, R.; Lenseth, K.; Herrin, J. Progress in second-generation HTS wire development and manufacturing. Phys. C Supercond. 2008, 468, 1504-1509.
• Du, H.I.; Yang, S.C.; Jeong, H.G. Study on Voltage Rating Improvement of the YBCO Thin-Film Superconducting Wire its Application for the Power Apparatus. IEEE Trans. Appl. Supercond. 2017, 27, 5601306.
• Maguire, J.; Folts, D.; Yuan, J.; Lindsay, D.; Knoll, D.; Bratt, S.; Wolff, Z.; Kurtz, S. Development and Demonstration of a Fault Current Limiting HTS Cable to be Installed in the Con Edison Grid. IEEE Trans. Appl. Supercond. 2009, 19, 1740-1743.
• Sung, H.J.; Park, M.; Go, B.S.; Yu, I.K. A study on the required performance of a 2G HTS wire for HTS wind power generators. Supercond. Sci. Technol. 2016, 29, 054001.
• Badel, A.; Tixador, P.; Berger, K.; Deleglise, M. Design and preliminary tests of a twin coil HTS SMES for pulse power operation. Supercond. Sci. Technol. 2011, 24, 055010.

タイトルに関連する用語 (6件)： MOCVD ,  誘導 ,  横方向 ,  均一性 ,  シャワー ,  設計