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J-GLOBAL ID：201802256767050943   整理番号：18A1698997

縮退した多結晶AZO透明導電膜における粒界の不規則性を考慮した粒界散乱

著者 (2件)： 宮田俊弘 (金沢工大 OEDS R&Dセ) ,  南内嗣 (金沢工大 OEDS R&Dセ)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 79th  ページ： ROMBUNNO.19p-PB8-9  発行年： 2018年09月05日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,  ドーピング ,  アルミニウム ,  多結晶 ,  透明導電膜 ,  化合物半導体 ,  性質 ,  スパッタ蒸着 ,  *マグネトロンスパッタリング ,  Green関数 ,  電気抵抗率 ,  転送行列 ,  Anderson局在 ,  *キャリア移動度 ,  *キャリア密度 ,  ポテンシャル障壁 ,  縮退半導体
準シソーラス用語： *AZO ,  *粒界散乱 ,  不規則性 ,  *RFマグネトロンスパッタリング

分類 (2件)： 半導体結晶の電気伝導  (BM03043X) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： 縮退 ,  多結晶 ,  Azo ,  透明導電膜 ,  粒界 ,  不規則性 ,  散乱