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J-GLOBAL ID:201802258079063150   整理番号:18A0859914

スケーリング端におけるIII-VチャネルFETの2Dおよび3D TCADシミュレーション【JST・京大機械翻訳】

2D and 3D TCAD simulation of III-V channel FETs at the end of scaling
著者 (3件):
資料名:
巻: 2018  号: EUROSOI-ULIS  ページ: 1-4  発行年: 2018年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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量子ドリフト拡散補正および単純な弾道移動度モデルを用いて,スケール2Dおよび3D III-VチャネルFETのI_dV_gs特性をシミュレーションした。二重ゲート超薄体形状のサブ閾値スイングを異なるゲート長に対して抽出し,半古典的結果を量子輸送シミュレータQTXからのそれらと比較した。弾道移動度は,線形領域におけるオン電流を除いて,ゲート全体のナノワイヤFETのQTX移動曲線を回復させた。ソースからドレインへのトンネリングは約10nmのゲート長でスケーリングする限界を設定することを示した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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