Anzalone Ruggero について
ST-Microelectronics; Stradale Primosole, 50, Catania, 95121, Italy について
Piluso Nicolo について
ST-Microelectronics; Stradale Primosole, 50, Catania, 95121, Italy について
Litrico Grazia について
Laboratori Nazionali del Sud; via S. Sofia, 62, Catania, 95123, Italy について
Lorenti Simona について
ST-Microelectronics; Stradale Primosole, 50, Catania, 95121, Italy について
Arena Giuseppe について
ST-Microelectronics; Stradale Primosole, 50, Catania, 95121, Italy について
Coffa Salvatore について
ST-Microelectronics; Stradale Primosole, 50, Catania, 95121, Italy について
La Via Francesco について
CNR-IMM; Strada VIII 5, Catania, 95121, Italy について
Materials Science Forum について
エッチング について
曲率 について
応力緩和 について
転位密度 について
後処理 について
X線回折 について
残留応力 について
基板 について
炭化ケイ素基板 について
結晶品質 について
4H-SiC について
X線検出器 について
マイクロRaman について
4H-SiC基板 について
6インチ について
KOH溶融エッチング について
半導体薄膜 について
4H-SiC について
過程 について
応力緩和 について