応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) について
炭化ケイ素 について
二酸化ケイ素 について
半導体材料 について
界面 について
表面欠陥 について
深準位過渡分光法 について
MOS構造 について
4H-SiC について
界面欠陥 について
欠陥分布 について
固固界面 について
半導体の格子欠陥 について
高分解能 について
DLTS について
SiO2 について
4H-SiC について
界面 について
欠陥 について
分布 について
観察 について