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J-GLOBAL ID：201802260007567434   整理番号：18A0849803

パリレン-C堆積とマスクレスマイクロプラズマ描画を用いた紙ベースのマイクロ流体デバイスの直接および全乾式作製【JST・京大機械翻訳】

Direct and all-dry fabrication of paper-based microfluidic device using parylene-C deposition and maskless microplasma writing

著者 (6件)： Wang Tao (National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Department of Micro/Nano-electronics, Key Laboratory for Thin Film and Micro fabrication of Ministry of Education, and Collaborative Innovation Center of IFSA, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai, China) ,  Hu M. S. (National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Department of Micro/Nano-electronics, Key Laboratory for Thin Film and Micro fabrication of Ministry of Education, and Collaborative Innovation Center of IFSA, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai, China) ,  Yang Bin (National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Department of Micro/Nano-electronics, Key Laboratory for Thin Film and Micro fabrication of Ministry of Education, and Collaborative Innovation Center of IFSA, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai, China) ,  Wang X. L. (National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Department of Micro/Nano-electronics, Key Laboratory for Thin Film and Micro fabrication of Ministry of Education, and Collaborative Innovation Center of IFSA, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai, China) ,  Chen Xiang (National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Department of Micro/Nano-electronics, Key Laboratory for Thin Film and Micro fabrication of Ministry of Education, and Collaborative Innovation Center of IFSA, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai, China) ,  Liu Jing-Quan (National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Department of Micro/Nano-electronics, Key Laboratory for Thin Film and Micro fabrication of Ministry of Education, and Collaborative Innovation Center of IFSA, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： MEMS  ページ： 1249-1252  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,パリレン-C堆積と無マスク大気圧マイクロプラズマ書込みを用いた紙ベースのマイクロ流体デバイスの直接および全乾式製造のための新規で簡単な方法を報告した。直径約10μmのマイクロプラズマジェットを実証し,本論文におけるこの方法の実現可能性を調べ,良く定義された親水性-疎水性コントラストチャネルを作製した。マイクロプラズマジェットの直径と処理時間を制御することによって,チャネル幅と湿潤深さを調整することができた。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 疎水性 ,  加工時間 ,  *マイクロ流体デバイス ,  親水性 ,  湿潤
準シソーラス用語： チャネル幅 ,  マイクロプラズマジェット ,  大気圧マイクロプラズマ ,  *パリレンC , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (4件)： 分析機器  (CC02020S) ,  流体式制御機器  (IC02030J) ,  生物物理的研究法  (EA03020V) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： パリレン-C ,  堆積 ,  描画 ,  紙 ,  マイクロ流体デバイス ,  作製