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J-GLOBAL ID：201802260467805244   整理番号：18A1894241

電子サイクロトロン共鳴エッチング反応器におけるトリベルピース-Gould波の数値同定【JST・京大機械翻訳】

Numerical Identification of Trivelpiece-Gould Waves in an Electron Cyclotron Resonance Etching Reactor

著者 (5件)： Tamura Hitoshi (Electric Device Systems Business Group, Hitachi High-Technologies Corporation, Kudamatsu, Japan) ,  Tetsuka Tsutomu (Research & Development Group, Hitachi Ltd., Tokyo, Japan) ,  Tamari Nanako (Electric Device Systems Business Group, Hitachi High-Technologies Corporation, Kudamatsu, Japan) ,  Kuwahara Daisuke (Institute of Engineering, Tokyo University of Agriculture and Technology, Tokyo, Japan) ,  Shinohara Shunjiro (Institute of Engineering, Tokyo University of Agriculture and Technology, Tokyo, Japan)
資料名： IEEE Transactions on Plasma Science  (IEEE Transactions on Plasma Science)
巻： 46  号： 10  ページ： 3662-3668  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0036B  ISSN： 0093-3813  CODEN： ITPSBD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電子サイクロトロン共鳴(ECR)プラズマ源は,それらの広い動作範囲と300または450mm直径ウエハ上の優れた均一性のために,超大規模集積製造プロセスに広く使われてきた。しかし,電磁波場解析の複雑さのために,磁化プラズマ充填反応器におけるマイクロ波電磁場はよく理解されていない。シミュレーションプラットフォームを用いた有限要素法によりECRプラズマエッチング器のマイクロ波電磁場解析を行った。複雑な電場パターンがいくつかの条件下で明確に観察された。著者らは,それらが偽であるかどうかを決定するために,詳細にパターンを調査した。パターンは,波の分散関係によって課されたそれらの特性に従って,Trivelピース-Gould波であることが証明された。この解析手法は,非常に微細な波動構造を同定できるので,強力な方法である。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 電磁波 ,  磁化プラズマ ,  *反応器 ,  電場 ,  波動 ,  *エッチング ,  LSI【IC】 ,  マイクロ波 ,  生産工程 ,  プラズマ源 ,  電磁場 ,  電磁場解析 ,  シミュレーション
準シソーラス用語： 複雑性 ,  *電子サイクロトロン共鳴 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 電子管,放電管  (NC02020D) ,  気体放電  (BJ03020T)

タイトルに関連する用語 (4件)： 電子サイクロトロン共鳴 ,  エッチング反応 ,  数値 ,  同定