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J-GLOBAL ID：201802260744007144   整理番号：18A2020236

有機金属分解(MOD)法によるTiO₂分散型VO_x薄膜の作製

Fabrication of TiO₂-dispersed VO_x thin films by MOD

著者 (6件)： HAI Van Nhu (防衛大) ,  前田幸平 (防衛大) ,  河原正美 (高純度化学研) ,  佐村剛 (高純度化学研) ,  立木隆 (防衛大) ,  内田貴司 (防衛大)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 118  号： 228(CPM2018 37-40)  ページ： 1-6  発行年： 2018年09月26日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 広い温度範囲で動作する高感度なボロメータ検出素子の実現を目指し,MOD法によりTiのモル比(X_m)を変化させて作製したTiO₂-V₂O₅プリカーサ薄膜を焼成して得られた薄膜の特性を評価した。プリカーサ薄膜を酸素雰囲気中で焼成した薄膜をXPSで評価したところ,V₂O₅中にTiO₂ナノ粒子が混在していることがわかり,得られた薄膜はTiO₂分散型のV₂O₅薄膜であった。X_m=10%以上にすると薄膜表面にアナターゼ型のTiO₂による析出物が現れた。さらに,同薄膜をP_a=1.2Paの減圧下で熱還元焼成して得られた薄膜のR-T特性はVO₂(M)特有の相転移特性を示し,X_mが高くなるにつれて抵抗変化量ならびにヒステリシス温度幅が減少する傾向が得られた。(著者抄録)

シソーラス用語： *溶液成長 ,  *酸化バナジウム ,  酸化物 ,  薄膜 ,  酸化チタン ,  *ナノ粒子 ,  ボロメータ ,  相転移
準シソーラス用語： *酸化チタンナノ粒子 ,  酸化物薄膜 ,  *有機金属分解法

分類 (2件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (23件)：

• W. Bruckner, W. Moldenhauer, H. Wich, E. Wolf, H. Oppermann, U. Gerlach, W. Reichelt, ′′The range of homogeneity of VO₂ and the influence of the composition on the physical properties′′, Phys. Stat. sol. (a), vol.29, pp.63-70, 1975.
• J. F. De Natale, P. J. Hood, A. B. Harker, ′′Formation and characterization of grain-oriented VO₂ thin films′′, J. Appl. Phys. vol.66, no.12, pp.5844-5850, 15 Dec. 1989.
• B. Chae, H. Kim, D. Youn, K. Kang, ′′Abrupt metal-insulator transition observed in VO₂ thin films induced by a switching voltage pulse′′, Phys. B, vol.369, pp.76-80, 2005.
• Z. Yang, C. Ko, S. Ramanathan, ′′Oxide electronics Utilizing Ultrafast Metal-Insulator Transitions′′, Annu. Rev. Mater. Res., vol.41, pp.337-36'7, 2011.
• Y. Wang, J. Chai. S. Wang, L. Qi, Y. Yang, Y. Xu, ′′Electrical oscillation in Pt/VO₂ bilayer strips′′, J. Appl. Phys., vol.117, 064502, 2015.

タイトルに関連する用語 (6件)： 有機金属 ,  分解 ,  法 ,  TiO2 ,  薄膜 ,  作製