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J-GLOBAL ID：201802261317042976   整理番号：18A0944304

軸方向非垂直エッチングの効果に焦点を当てたMEMSジャイロスコープにおける梁の非等弾性の包括的モデル【JST・京大機械翻訳】

A comprehensive model of beams’ anisoelasticity in MEMS gyroscopes, with focus on the effect of axial non-vertical etching

著者 (10件)： Izadi M. (Dipartimento di Meccanica, Politecnico di Milano, Milan, Italy) ,  Braghin F. (Dipartimento di Meccanica, Politecnico di Milano, Milan, Italy) ,  Giannini D. (Dipartimento di Meccanica, Politecnico di Milano, Milan, Italy) ,  Milani D. (Dipartimento di Meccanica, Politecnico di Milano, Milan, Italy) ,  Resta F. (Dipartimento di Meccanica, Politecnico di Milano, Milan, Italy) ,  Brunetto M. F. (AMG R&D, STMicroelectronics, Cornaredo (MI), Italy) ,  Falorni L. G. (AMG R&D, STMicroelectronics, Cornaredo (MI), Italy) ,  Gattere G. (AMG R&D, STMicroelectronics, Cornaredo (MI), Italy) ,  Guerinoni L. (AMG R&D, STMicroelectronics, Cornaredo (MI), Italy) ,  Valzasina C. (AMG R&D, STMicroelectronics, Cornaredo (MI), Italy)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： INERTIAL  ページ： 1-4  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,面外機械的直交を引き起こす梁の非等弾性の存在下でのMEMSジャイロスコープの挙動をモデル化し,効率的にシミュレーションするための包括的なアプローチについて述べた。文献ではほとんど研究されていない曲げ梁の軸方向に沿った非垂直エッチングの影響に特別な焦点を当てた。直交に及ぼす梁の非等弾性の影響を評価するためのデバイスレベルの数値シミュレーションツールを開発し,3D FEMシミュレーションとの比較により検証した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *弾性 ,  直交性 ,  モデリング ,  *軸方向 ,  三次元 ,  シミュレーション ,  *エッチング
準シソーラス用語： シミュレーションツール ,  *MEMSジャイロスコープ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 垂直 ,  エッチング ,  焦点 ,  MEMSジャイロスコープ ,  梁 ,  弾性 ,  モデル