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J-GLOBAL ID：201802261735246983   整理番号：18A0809773

Si₃N₄/SiO₂膜上に作製した薄膜スパイラルアンテナ結合Biマイクロボロメータの特性

Characteristics of thin-film spiral antenna-coupled Bi microbolometer fabricated on Si₃N₄/SiO₂ membrane

著者 (3件)： Uchida Takashi (Department of Electrical and Electronic Engineering, National Defense Academy, 1-10-20 Hashirimizu, Yokosuka, 239-8686, Japan) ,  Matsushita Akihito (Department of Electrical and Electronic Engineering, National Defense Academy, 1-10-20 Hashirimizu, Yokosuka, 239-8686, Japan) ,  Tachiki Takashi (Department of Electrical and Electronic Engineering, National Defense Academy, 1-10-20 Hashirimizu, Yokosuka, 239-8686, Japan)
資料名： IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering  (IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering)
巻： 13  号： 6  ページ： 876-881  発行年： 2018年06月 
JST資料番号： W1854A  ISSN： 1931-4973  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 薄膜のスパイラルアンテナ結合BiマイクロボロメーターをSi₃N₄/SiO₂膜上に作製した。この膜は,26重量%のKOH溶液を用いたSi基板の裏面からのウェットエッチングによって実現された。アンテナは,現在の帯域理論に基づいて設計され,140-220GHzの周波数範囲をカバーしている。膜上および銅板反射体に裏打ちされた膜上に配置されたアンテナの実験パターンは,空気中に配置されたアンテナの理論パターンとよく一致した。さらに,140から220GHzにわたるアンテナの広帯域特性が得られた。220GHz電磁波の照射下でのDC感度から推定した膜上のBiマイクロボロメータの応答性は110V/Wであった。この値は,誘電体基板上に製造されたBiボロメータの値よりも約1桁高い。Copyright 2018 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 窒化ケイ素 ,  酸化ケイ素 ,  半導体薄膜 ,  *スパイラルアンテナ ,  *ビスマス ,  *ボロメータ ,  テラヘルツ波 ,  検出 ,  アンテナ設計 ,  水酸化カリウム ,  溶液 ,  *ウェットエッチング ,  広帯域 ,  電磁波照射 ,  円偏波 ,  *溶液成長 ,  *酸化バナジウム ,  薄膜成長
準シソーラス用語： *マイクロボロメータ ,  テラヘルツ光検出 ,  *有機金属分解法

著者キーワード (3件)： マイクロボロメータ ,  アンテナ結合デバイス ,  テラヘルツ検出器

分類 (1件)： 赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W)

タイトルに関連する用語 (7件)： Si3N4 ,  SiO2 ,  作製 ,  薄膜 ,  スパイラルアンテナ ,  Bi ,  マイクロボロメータ