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J-GLOBAL ID：201802262067372628   整理番号：18A0129762

高熱伝導薄膜基板系とそれらの界面熱抵抗のキャラクタリゼーション【Powered by NICT】

Characterisation of high thermal conductivity thin-film substrate systems and their interface thermal resistance

著者 (8件)： Moridi Alireza (Laboratory for Precision and Nano Processing Technologies, School of Mechanical and Manufacturing, UNSW Australia, Kensington, NSW 2052, Australia) ,  Zhang Liangchi (Laboratory for Precision and Nano Processing Technologies, School of Mechanical and Manufacturing, UNSW Australia, Kensington, NSW 2052, Australia) ,  Liu Weidong (Laboratory for Precision and Nano Processing Technologies, School of Mechanical and Manufacturing, UNSW Australia, Kensington, NSW 2052, Australia) ,  Duvall Steven (Silanna Semiconductor, 8 Herb Elliott Ave, Sydney Olympic Park, NSW 2127, Australia) ,  Brawley Andrew (Silanna Semiconductor, 8 Herb Elliott Ave, Sydney Olympic Park, NSW 2127, Australia) ,  Jiang Zhuangde (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China) ,  Yang Shuming (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China) ,  Li Changsheng (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 334  ページ： 233-242  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,高い熱伝導率薄膜基板系と膜の間の界面熱抵抗を特性化した。一三オメガ(3ω)法を提案し,検証,浅い熱的侵入深さで信頼性のある熱伝導率測定を得た。法は,個々の熱伝導率を同定するための薄膜/基板システムに適用した。薄膜間の界面熱抵抗は,理論的モデリングと実験的測定を用いて特性化することに成功した。IC産業における法の応用の一例として,AlN/Si系を調べた。研究は,AlN/Si系における厚み2μmのAlN膜の熱伝導率は,172.1mKであり,AlN/Si界面熱抵抗は1.796×10~ 9m~2 8m2K/Wであることを同定した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *熱伝導 ,  窒化アルミニウム ,  信頼性 ,  *キャラクタリゼーション ,  熱伝導率 ,  モデリング ,  *薄膜
準シソーラス用語： 熱伝導率測定 ,  侵入 ,  *界面熱抵抗 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 薄膜 ,  Si上のAlN ,  熱伝導率 ,  界面熱抵抗 ,  ナノストリップ

分類 (4件)： 比熱・熱伝導一般  (BL05021E) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  ガラス・セラミック被覆一般  (YC02010D) ,  金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 熱伝導 ,  薄膜 ,  界面熱抵抗 ,  キャラクタリゼーション