文献

J-GLOBAL ID：201802262192687294   整理番号：18A1028633

有効シリコンエミッタ不動態化のための原子層堆積Al_2O_3中の混合アルミニウム前駆体【JST・京大機械翻訳】

Mixed aluminum precursor in the atomic layer deposited Al₂O₃ for effective silicon emitter passivation

著者 (4件)： Bao Yameng (Department of Micro- and Nanosciences, Aalto University, Espoo, 02150, Finland) ,  Huang Haibing (Department of Micro- and Nanosciences, Aalto University, Espoo, 02150, Finland) ,  Lv Jun (China Sunergy, No.123. Focheng West Road, Jiangning Zone, Nanjing, Jiangsu, 211100, China) ,  Savin Hele (Department of Micro- and Nanosciences, Aalto University, Espoo, 02150, Finland)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： PVSC  ページ： 1-4  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,シリコン太陽電池エミッタの不動態化品質に及ぼす原子層堆積(ALD)Al_2O_3のアルミニウム前駆体の影響を研究した。アルミニウム前駆体,トリメチルアルミニウム(TMA)およびジメチルアルミニウムクロリド(DMACl),およびそれらの異なる組み合わせを用いて,リンおよびホウ素注入エミッタ上にAl_2O_3層を堆積した。不動態化品質の測定に加えて,ウエハは熱安定性研究を経験した。すべてのウエハにおいて,Al_2O_3は,アニールにおけるイオン注入駆動から生じる熱酸化物と比較して,より良いエミッタ飽和電流をもたらした。産業型のエミッタでは,60fA/cm2のJ_oeの値が得られた。アルミニウム源の影響は期待されるほど高くなかったが,アルミニウム前駆体はいわゆるブリスタの形成に高い影響を持つことが分かった。このブリスタはアルミニウム前駆体としてDMAClを用いて大きく抑制できるが,TMAは高密度で大サイズのブリスタの形成をもたらすことを示した。ALDプロセスにおけるDMAClを有するPERC太陽電池は,TMAベースのプロセスと同様の不動態化品質を示した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 品質 ,  イオン注入 ,  焼なまし ,  リン ,  *前駆体 ,  ブリスタリング ,  *不動態化 ,  ホウ素 ,  熱安定性 ,  太陽電池 ,  *アルミニウム ,  熱酸化
準シソーラス用語： 高密度 ,  飽和電流 ,  シリコン太陽電池 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 太陽電池  (NC03084O) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： シリコン ,  エミッタ ,  不動態化 ,  原子層堆積 ,  アルミニウム ,  前駆体