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J-GLOBAL ID：201802262198030651   整理番号：18A0712526

シリコン単結晶の直径測定のための新しい方法【JST・京大機械翻訳】

A novel method for diameter measurement of silicon single crystal

著者 (4件)： Wang Xuanyin (Zhejiang University, The State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Hangzhou 310027, China) ,  Xiang Senwei (Zhejiang University, The State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Hangzhou 310027, China) ,  Xiang Ke (Zhejiang University, The State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Hangzhou 310027, China) ,  Pan Feng (Zhejiang Sunny Optical Intelligence Technology Co., Ltd., 525 Xixi Road, Hangzhou 310027, China)
資料名： Measurement  (Measurement)
巻： 121  ページ： 286-293  発行年： 2018年 
JST資料番号： W0315B  ISSN： 0263-2241  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 自己直径測定はシリコン単結晶のCzochralski法において重要な役割を果たす。本論文では,同心楕円に基づく新しいアプローチを提案し,シリコン単結晶の直径を測定した。最初に,捕捉画像における熱遮蔽とメニスカス間の同心楕円関係を解析した。次に,結晶の直径を,同心楕円の特殊な幾何学的性質により計算できることを見いだした。この発見に従って,著者らのアプローチは,2つの段階で結晶の直径を測定するように設計される。従来の技術と比較して,著者らの方法は,直径検出の間,すべての画像に複雑な円/楕円適合アルゴリズムを適用せず,それはリアルタイム応用に適している。さらに,楕円エッジフィルタリングアルゴリズムを用いて,このシステムのロバスト性を改善した。合成画像と実画像に関する実験結果は,著者らの方法が効率的で,正確で,ロバストであることを実証した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： ロバスト性 ,  *画像 ,  メニスカス ,  捕獲 ,  Czochralski法 ,  アルゴリズム
準シソーラス用語： 合成画像 ,  実時間 ,  幾何学的特徴 ,  *単結晶シリコン , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： シリコン結晶 ,  直径測定 ,  同心楕円 ,  幾何学的性質 ,  エッジフィルタリング

分類 (2件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  パターン認識  (JE07000S)

タイトルに関連する用語 (2件)： シリコン単結晶 ,  直径