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J-GLOBAL ID：201802262233137120   整理番号：18A1124333

単結晶シリコン薄膜の高温パンチクリープ成形による極小3軸力覚センサの開発

著者 (5件)： 丹村響介 (神戸大) ,  大坂憲司 (神戸大) ,  豊田崇夫 (神戸大) ,  菅野公二 (神戸大) ,  磯野吉正 (神戸大)
資料名： マルチスケール材料力学シンポジウム講演論文集(CD-ROM)
巻： 3rd  ページ： ROMBUNNO.P8  発行年： 2018年 
JST資料番号： L3074C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ケイ素 ,  単結晶 ,  半導体薄膜 ,  *高温クリープ ,  成形 ,  *圧力センサ ,  多軸 ,  ロボットハンド ,  片持梁 ,  MEMS ,  解析
準シソーラス用語： シリコン薄膜 ,  三軸 ,  単結晶シリコン ,  *力覚センサ ,  MEMSセンサ ,  逆解析

分類 (2件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A)

タイトルに関連する用語 (7件)： 単結晶 ,  シリコン薄膜 ,  パンチ ,  クリープ ,  3軸 ,  力覚センサ ,  開発