文献

J-GLOBAL ID：201802263240069887   整理番号：18A1709406

改良型光学リソグラフィー画像化モデルに基づく臨界次元変動に関する研究【JST・京大機械翻訳】

Research on critical dimensions variation based on improved optical lithography imaging model

著者 (10件)： Li Yang (Jiangxi Engineering Research Center of Process and Equipment for New Energy, East China University of Technology, Nanchang 330013, China) ,  Li Yang (School of Science, East China University of Technology, Nanchang 330013, China) ,  Li Yanfang (Jiangxi Engineering Research Center of Process and Equipment for New Energy, East China University of Technology, Nanchang 330013, China) ,  Li Yanfang (School of Science, East China University of Technology, Nanchang 330013, China) ,  Li Ying (Jiangxi Engineering Research Center of Process and Equipment for New Energy, East China University of Technology, Nanchang 330013, China) ,  Li Ying (School of Science, East China University of Technology, Nanchang 330013, China) ,  Li Qun (Jiangxi Engineering Research Center of Process and Equipment for New Energy, East China University of Technology, Nanchang 330013, China) ,  Li Qun (School of Science, East China University of Technology, Nanchang 330013, China) ,  Jiang Bifen (Jiangxi Engineering Research Center of Process and Equipment for New Energy, East China University of Technology, Nanchang 330013, China) ,  Jiang Bifen (School of Science, East China University of Technology, Nanchang 330013, China)
資料名： Optik  (Optik)
巻： 174  ページ： 289-295  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0251A  ISSN： 0030-4026  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 迷光は光リソグラフィーに存在し,CD(臨界次元)変動を引き起こす。したがって,迷光によるイメージングの適切な記述モデルを得ることは重要である。中間距離と長距離フレアを考慮した改良光リソグラフィー画像化モデルを,PSF_F(Flareの点空間関数)モデルとKirkフレアモデルを用いて提案した。提案したシミュレーションモデルは実験データと比較してはるかに良い精度を持つことを確認した。CDに及ぼすフレアの影響を研究して,それにおいて,全体のフレアは同じであるが,中間範囲と長い範囲のフレアの比率を変化させた。シミュレーション結果は,長距離フレアが中距離フレアよりCDに大きな影響を持つことを示した。長距離フレアの割合が大きいほど,CDの線幅は小さくなる。従って,長距離フレアは光リソグラフィーにおいて完全に考慮すべきである。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： シミュレーション ,  迷光 ,  フォトリソグラフィー ,  シミュレーションモデル ,  *臨界 ,  モデル ,  画像処理 ,  *リソグラフィー
準シソーラス用語： 線幅 ,  フレア ,  長距離 ,  画像化 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 光リソグラフィー ,  臨界次元 ,  迷光 ,  Kirkフレア模型 ,  PSF_f関数モデル

分類 (5件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  光の像形成  (BD03050I) ,  その他の光伝送素子  (BD06040S) ,  光通信方式・機器  (ND10000B) ,  非線形光学  (BD05000T)

タイトルに関連する用語 (7件)： 光学 ,  リソグラフィー ,  画像化 ,  モデル ,  臨界 ,  次元 ,  研究