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J-GLOBAL ID：201802263512329563   整理番号：18A1203067

田口法により調整された薄いCNT森林膜の反射率の有意な減少【JST・京大機械翻訳】

Significant decrease in the reflectance of thin CNT forest films tuned by the Taguchi method

著者 (7件)： Pander Adam (Electronic and Photonic Systems Engineering, Department of Engineering, Graduate School of Engineering, Kochi University of Technology, Tosayamada, Kami, Kochi 782-8502, Japan) ,  Pander Adam (Center for Nanotechnology, Research Institute, Kochi University of Technology, Tosayamada-cho, Kami, Kochi 782-8502, Japan) ,  Ishimoto Kouki (Electronic and Photonic Systems Engineering, Department of Engineering, Graduate School of Engineering, Kochi University of Technology, Tosayamada, Kami, Kochi 782-8502, Japan) ,  Hatta Akimitsu (Electronic and Photonic Systems Engineering, Department of Engineering, Graduate School of Engineering, Kochi University of Technology, Tosayamada, Kami, Kochi 782-8502, Japan) ,  Hatta Akimitsu (Center for Nanotechnology, Research Institute, Kochi University of Technology, Tosayamada-cho, Kami, Kochi 782-8502, Japan) ,  Furuta Hiroshi (Electronic and Photonic Systems Engineering, Department of Engineering, Graduate School of Engineering, Kochi University of Technology, Tosayamada, Kami, Kochi 782-8502, Japan) ,  Furuta Hiroshi (Center for Nanotechnology, Research Institute, Kochi University of Technology, Tosayamada-cho, Kami, Kochi 782-8502, Japan)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 154  ページ： 285-295  発行年： 2018年 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 全紫外可視(UV-Vis)反射率を減少させることにより,カーボンナノチューブ(CNT)森林の光学的性質を調整するために,実験計画のTaguchi法を利用した。CNT成長パラメータは,アセチレン流量,Fe触媒膜の厚さ,AlO_xバッファ層のスパッタリング中の基板分極電位(バイアス),およびアセチレン対水素ガス流量比を含んだ。信号対雑音比(SN)のプロットは,バッファ層バイアスと触媒厚さが全光反射率の最終結果に最も高い影響を持つことを示した。成長パラメータの最適値に基づいて検証実験を行い,相対的に低い高さ(~20μm)を持つ薄いCNT森林膜で報告された最低値(λ=750nmで0.077%)へのUV-Vis反射率の45%減少を得た。さらに,CNT森林の構造パラメータを研究した。CNT構造(単層CNT(SWCNT),二重壁CNTs(DWCNTs),多層CNTs(MWCNTs)),充填因子(密度),およびCNTの全光反射率への整列の影響を調べた。CNTの密度と配列は最も高い影響を示したが,個々のCNT構造は低い全光反射率に対して無視できるほど小さい効果を示した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 電位 ,  スパッタリング ,  バッファ層 ,  流量 ,  バイアス ,  二重壁 ,  *反射率 ,  鉄 ,  触媒 ,  SN比 ,  多層 ,  分極 ,  最適値 ,  アルキン

著者キーワード (6件)： カーボンナノチューブ ,  田口法 ,  光学的性質 ,  反射率 ,  化学蒸着 ,  最適化

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

物質索引 (1件)： アセチレン

タイトルに関連する用語 (3件)： CNT ,  森林 ,  反射率