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J-GLOBAL ID：201802266028536495   整理番号：18A0591143

実用化迫る光センシング 傾斜エリプソメトリーとその応用

著者 (1件)： 津留俊英 (山形大)
資料名： 光アライアンス  (Optical Alliance)
巻： 29  号： 4  ページ： 31-35  発行年： 2018年04月01日 
JST資料番号： L1746A  ISSN： 0917-026X  CODEN： HARAEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 物体の方位角と傾斜角をエリプソメトリーで直読する傾斜エリプソメトリーの原理とこれを実現する偏光イメージング装置,また,応用例として二次元偏光解析による三次元形状計測などについて紹介する。(著者抄録)

シソーラス用語： *偏光解析法 ,  エリプソメータ ,  *計測器 ,  方位角測定 ,  傾斜角 ,  *三次元測定器
準シソーラス用語： *エリプソメトリー ,  偏光解析装置 ,  *三次元形状計測装置 ,  傾斜角度

分類 (2件)： 光の屈折,反射,分散,偏向,吸収,透過  (BD03020B) ,  分光分析  (CC03012W)

タイトルに関連する用語 (3件)： 光センシング ,  エリプソメトリー ,  応用