走査型電気化学顕微鏡によるウエハ片上のメッキプロセスの研究と表面膜の特性決定のための多目的電着セル構造の開発と利用

HANEKAMP Patrick; HANEKAMP Patrick; ROBL Werner; MATYSIK Frank-Michael

文献

J-GLOBAL ID：201802266358320656 整理番号：18A0153118

走査型電気化学顕微鏡によるウエハ片上のメッキプロセスの研究と表面膜の特性決定のための多目的電着セル構造の開発と利用

Development and application of a multipurpose electrodeposition cell configuration for studying plating processes on wafer specimen and for characterizing surface films by scanning electrochemical microscopy

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資料名：
巻： 47 号： 12 ページ： 1305-1312 発行年： 2017年12月
JST資料番号： B0393B ISSN： 0021-891X 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

電気化学めっきと表面の特性決定のための実験装置の紹介と実施例について報告した。Ru被覆シリコンウエハを作動電極の保持具に装着し,Cuの電気メッキを0.5~10sで行った。次いで,圧電駆動型のプローブによる走査型電気化学手法でその保持具上のメッキ状態を調べた。銅粒子の成長や合体などのメッキ過程を電気化学的に解明でき,この実験と測定装置の多能性が明らかにできた。

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電気化学的操作・装置一般 , 電気めっき

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