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J-GLOBAL ID:201802266463621275   整理番号:18A0446888

集積プラズモン屈折率センサ:Ge PINフォトダイオードに及ぼすAlナノホールアレイ【Powered by NICT】

An integrated plasmonic refractive index sensor: Al nanohole arrays on Ge PIN photodiodes
著者 (6件):
資料名:
巻: 2017  号: IEDM  ページ: 40.5.1-40.5.4  発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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共線屈折率センサは最小のデバイスフットプリントで最高感度を提供する。作製のための相補型金属酸化膜半導体両立プロセスを用いた集積バイオセンサを可能にする安価な素子への道を開くものである。ダイオードの頂上に直接置いたAlナノホールアレイを備えた垂直Ge PINフォトダイオードを提示した。PIN層スタック内のプラズモン共鳴と薄膜反射の相互作用は14までFOM*を示すAuセンシングシステムに匹敵する感度を可能にした。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (1件):
分類
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固体プラズマ 

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