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J-GLOBAL ID：201802267358120942   整理番号：18A1697486

原子間力顕微鏡法における薄膜破壊プロセスの解析

著者 (8件)： 石原浩行 (大阪大 大学院) ,  若家冨士男 (大阪大 大学院) ,  村上勝久 (産業技術総合研) ,  長尾昌善 (産業技術総合研) ,  宮戸祐治 (大阪大 大学院) ,  山下隼人 (大阪大 大学院) ,  阿保智 (大阪大 大学院) ,  阿部真之 (大阪大 大学院)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 79th  ページ： ROMBUNNO.18p-231A-5  発行年： 2018年09月05日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *原子間力顕微鏡 ,  *薄膜 ,  *過程 ,  片持梁 ,  窒化ケイ素 ,  二酸化ケイ素 ,  グラフェン
準シソーラス用語： カンチレバー ,  グラフェン膜 ,  *破壊プロセス

分類 (1件)： その他の材料  (HC04050S)

タイトルに関連する用語 (4件)： 原子間力顕微鏡法 ,  薄膜 ,  破壊プロセス ,  解析