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J-GLOBAL ID：201802268183591621   整理番号：18A1623687

大気パッケージングを用いた改良SOI共振圧力センサ【JST・京大機械翻訳】

An Improved SOI Resonant Pressure Sensor using Atmospheric Packaging*

著者 (6件)： Ren Sen (Key Laboratory of Micro/Nano Systems for Aerospace, Ministry of Education, Northwestern Polytechnical University, Xi’an, Shaanxi, 710072, China) ,  Xie Jianbing (Key Laboratory of Micro/Nano Systems for Aerospace, Ministry of Education, Northwestern Polytechnical University, Xi’an, Shaanxi, 710072, China) ,  Shen Qiang (Key Laboratory of Micro/Nano Systems for Aerospace, Ministry of Education, Northwestern Polytechnical University, Xi’an, Shaanxi, 710072, China) ,  Wang Fei (Key Laboratory of Micro/Nano Systems for Aerospace, Ministry of Education, Northwestern Polytechnical University, Xi’an, Shaanxi, 710072, China) ,  Yuan Weizheng (Key Laboratory of Micro/Nano Systems for Aerospace, Ministry of Education, Northwestern Polytechnical University, Xi’an, Shaanxi, 710072, China) ,  Zhang Jinkuan (Flight Automatic Control Research Institute, Xi’an, Shaanxi, 710065, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： INEC  ページ： 37-38  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 改良大気包装SOI共鳴圧力センサを提示した。懸垂接続トラスを用いた特殊なアンカー構造を開発し,ダイヤフラムが偏向するときの共振器の垂直位置シフトを抑制し,共振圧力センサの性能を改善するために応力分離構造を導入した。実験結果は,共振器の垂直位置シフトが従来のアンカー設計と比較して7.3%に減少することを示した。3.5~280kPaの全スケール圧力範囲で,圧力感度は10.86Hz/kPaであり,非線形性は0.0138%FS,ヒステリシス誤差は0.0047%FS,再現性誤差は0.0071%FS,精度は0.02%FSより良い。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *圧力センサ ,  再現性 ,  トラス ,  非線形性 ,  *共振 ,  懸垂 ,  ダイヤフラム ,  共鳴 ,  共振器 ,  ヒステリシス

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (5件)： 大気 ,  パッケージング ,  SOI ,  共振 ,  圧力センサ